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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...
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作者:
tts_moon
时间:
2013-9-22 13:14
标题:
怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...
4.1温区尺寸：Φ200×H400
/ s* c8 y7 X6 I$ p: q$ K
4.2沉积室最高使用温度：1500℃
1 r) X' y) v# W* p
4.3捕集室最高使用温度：2400℃
" r- V4 M1 e, \- s6 D/ W" H
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
/ T# F% E, G( p: B/ S
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
) I y. K9 q/ U8 [6 S+ t) Y6 E1 ~
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
0 U5 E2 \3 ?8 h% J/ N" a* H) I$ u
4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
! o/ V6 v+ _8 V
4.8控温精度：≤±2℃
" l" @1 _$ _) m! I
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
( U$ M, _* X9 ~8 w' Q4 O
4.10沉积室电源最大功率：30kVA
0 u. @- i1 m0 b9 [9 a; J3 \5 g
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
1 d/ a7 [( l/ t4 D8 X' W
4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
: y: r+ V5 q! q1 S
4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
; n# w$ I/ q% e ?
4.14捕集室中频电源功率：50Kw
. f6 A' @+ r; R
4.15捕集室电源输入电压：380V
# E. \3 U: {. N( R" W L9 V
进水温度：5~30℃
4 |% a- P V7 E
出水温度：≤55℃
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