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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...
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作者:
tts_moon
时间:
2013-9-22 13:14
标题:
怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...
4.1温区尺寸：Φ200×H400
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4.2沉积室最高使用温度：1500℃
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4.3捕集室最高使用温度：2400℃
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4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
1 u9 ~- s; A- x8 z% u; f6 H
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
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4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
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4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
2 @% B% i% ]4 W# O' J% b# R# y
4.8控温精度：≤±2℃
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4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
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4.10沉积室电源最大功率：30kVA
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4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
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4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
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4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
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4.14捕集室中频电源功率：50Kw
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4.15捕集室电源输入电压：380V
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进水温度：5~30℃
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出水温度：≤55℃
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