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标题: 怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量,即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见... [打印本页]

作者: tts_moon    时间: 2013-9-22 13:14
标题: 怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量,即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...
4.1温区尺寸:Φ200×H400
9 |* }# m7 L7 c3 \3 n1 K4.2沉积室最高使用温度:1500℃$ o/ Y0 D: z* E2 _6 Y* C
4.3捕集室最高使用温度:2400℃
: u: X; G# j( O' H1 W8 ^* y4.4空炉冷态极限真空度:≤5Pa
1 u9 ~- s; A- x8 z% u; f6 H4.5空炉冷态压升率:≤6.67×10-2Pa/min
; v9 T, I- |" f8 u, O% y; d- L2 {: Q4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间:≤30min2 e5 r: }. n% n* F! a# E8 `
4.7工作空间温度不均匀度:≤±15℃
2 @% B% i% ]4 W# O' J% b# R# y4.8控温精度:≤±2℃  s, K2 g& R" M, U& ?7 W7 T
4.9沉积室电源形式:可控硅三相整流调压电源
* ?/ s! w  w) s* z+ S9 \9 O4.10沉积室电源最大功率:30kVA
/ ~8 N" K4 E* ^6 k% [8 q6 B4.11 沉积室电源输入电压:AC . 380V
/ e6 t: T9 l( g1 G4.12 沉积室电源输出电压:AC . 21V
6 Q* z& I, }; P7 {  s* U0 P4.13捕集室中频电源频率:2500Hz2 I3 j. V; `% w- `8 w) m
4.14捕集室中频电源功率:50Kw+ {* y: ?; _8 v+ {2 Y" Y
4.15捕集室电源输入电压:380V# e6 b* B% r5 {- u3 v+ S; @
进水温度:5~30℃
7 E* x2 ]4 Y' C: X0 ^出水温度:≤55℃




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