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标题: 怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见... [打印本页]
作者: tts_moon    时间: 2013-9-22 13:14
标题: 怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...
4.1温区尺寸：Φ200×H400. d. W3 f. g! k, c. e3 V0 L& V) C
4.2沉积室最高使用温度：1500℃
0 F6 f  m2 f3 `. P. q4 m& ?4.3捕集室最高使用温度：2400℃
. t  `( Z) r9 h% A+ o2 z4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
9 z2 W. Z) W$ v$ c2 ]- k, e4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min4 `3 \9 l6 l! D4 t
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min7 m& A: ]/ M, X/ w! X9 B
4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
2 _3 m8 d* @2 L0 K2 L. n4.8控温精度：≤±2℃  D% ?* B# x5 B, b. f( H
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
$ k6 {9 r! A/ n. k  E3 z: H) w4 D4.10沉积室电源最大功率：30kVA
6 f% _  i: f* R$ m  C4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
* A  O% q  L- t. ~7 @4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
: p) ]0 A& A  R" M/ N0 n4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
* m4 O; w/ `  S( O* |0 {7 K4.14捕集室中频电源功率：50Kw
8 A/ O9 i) R: U3 E0 [8 N4.15捕集室电源输入电压：380V$ a6 V/ f# N& w6 Z
进水温度：5~30℃
& K; }" b8 B9 v" ^出水温度：≤55℃



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