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标题: 怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量即要求水冷设备有多大的制冷量具体参数见 [打印本页]

作者: tts_moon 时间: 2013-9-25 16:34
标题: 怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量即要求水冷设备有多大的制冷量具体参数见
4．1温区尺寸：Φ200×H4004．2沉积室最高使用温度：1500℃4．3捕集室最高使用温度：2400℃4．4空炉冷态极限真空度：≤5Pa4．5空炉冷态压升率：≤6．67×10－2Pa＆＃47；min4．6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min4．7工作空间温度不均匀度：≤±15℃4．8控温精度：≤±2℃4．9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源4．10沉积室电源最大功率：30kVA4．11　沉积室电源输入电压：AC　．　380V4．12　沉积室电源输出电压：AC　．　21V4．13捕集室中频电源频率：2500Hz4．14捕集室中频电源功率：50Kw4．15捕集室电源输入电压：380V进水温度：5～30℃出水温度：≤55℃

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