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标题: 真空镀膜设备的旋片式真空泵如何保养? [打印本页]

作者: dgdlt999    时间: 2017-4-22 08:56
标题: 真空镀膜设备的旋片式真空泵如何保养?
旋片式真空泵是抽除密封容器中的气体从而获得真空的主要设备。在实际运用过程中需要我们正确的保养才能提高它的性能和寿命,(不适宜抽含氧过高的、油性的、对金属起腐蚀的和含有颗粒尘埃的气体)。据调查了解,有相当一部分用户,是因为使用不当,而出现了一些问题。以下是东莞大路通的工程师为大家总结的几点建议。
; x0 y$ ~4 i8 O& a1、经常检查油质情况,发现真空油乳化及变质应及时更换真空油,确保真空泵工作正常。4 r3 y# y) V- H/ C5 z3 ?3 }! d

/ w' Y8 H# w! h* X; a; t$ U2、真空泵换真空油的期限,按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长更换真空油期限。
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3、严禁换用其他种类的油。一定要用专业的真空油。经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以旋片真空泵运转时,油位到油标中心为准。
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/ \" Q1 Y/ y7 _4 J4、一般情况下,真空泵工作2000小时后应进行检修,检查橡胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类配件清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放,小心碰伤。9 g! I" Q1 m$ v/ Z7 P
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5、检查真空泵管路及结合处有无松动,漏气现象。用手转动真空泵,试试是否转动灵活。# k+ E1 E9 p) a

4 A  K1 L3 ^- N6、有条件的对管道中同样进行清理,确保管路畅通。
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7、严禁长时间抽大气!严禁无油少油工作。在被抽系统与真空泵链接处应该安装真空阀,停机前应先关闭通道已防止真空由回流到被抽系统中!确保被抽系统无腐蚀性气体。
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) c- L4 ]% F7 P8、旋片式真空泵重新装配后,应进行试运行,一般须无负载,空转2小时并换油二次。由于在清洗的过程中,在旋片真空泵箱体中会残留一定量易挥发物,待挥发完以后,再投入正常工作。
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作者: xiaoming    时间: 2017-9-18 10:38
谢谢楼主分享,学习了




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