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标题: 真空镀膜设备的旋片式真空泵如何保养？ [打印本页]
作者: dgdlt999    时间: 2017-4-22 08:56
标题: 真空镀膜设备的旋片式真空泵如何保养？
旋片式真空泵是抽除密封容器中的气体从而获得真空的主要设备。在实际运用过程中需要我们正确的保养才能提高它的性能和寿命，（不适宜抽含氧过高的、油性的、对金属起腐蚀的和含有颗粒尘埃的气体）。据调查了解，有相当一部分用户，是因为使用不当，而出现了一些问题。以下是东莞大路通的工程师为大家总结的几点建议。
5 t; \# G7 j. }2 ]" \0 v+ q" R1、经常检查油质情况，发现真空油乳化及变质应及时更换真空油，确保真空泵工作正常。& l7 r5 M6 G" r1 ?% K
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2、真空泵换真空油的期限，按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长更换真空油期限。$ B' W: q2 b' i7 _* y7 o6 \) d

8 N" f! g  f) d( w) @! d3、严禁换用其他种类的油。一定要用专业的真空油。经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以旋片真空泵运转时，油位到油标中心为准。
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, d4 Q+ k6 @/ q4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类配件清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放，小心碰伤。# q- C3 u, S! b. E5 F7 S
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5、检查真空泵管路及结合处有无松动，漏气现象。用手转动真空泵，试试是否转动灵活。, t' `& p. k! r2 ?8 s, p) L  I; J7 {" z

$ s& o) A, b# Z) Q3 R6、有条件的对管道中同样进行清理，确保管路畅通。; \8 u/ X' n4 p, y; r
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7、严禁长时间抽大气！严禁无油少油工作。在被抽系统与真空泵链接处应该安装真空阀，停机前应先关闭通道已防止真空由回流到被抽系统中！确保被抽系统无腐蚀性气体。; O  s9 h8 U! y0 L* `
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8、旋片式真空泵重新装配后，应进行试运行，一般须无负载，空转2小时并换油二次。由于在清洗的过程中，在旋片真空泵箱体中会残留一定量易挥发物，待挥发完以后，再投入正常工作。. f1 h; h+ [( O; _+ k- }- A9 w) q
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作者: xiaoming    时间: 2017-9-18 10:38
谢谢楼主分享，学习了



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