中国真空获得及应用设备行业发展概况

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中国通用机械工业年鉴2002
中国真空获得及应用设备行业发展概况

一、真空设备行业十年概况
20世纪90年代是我国真空工业飞速发展的年代。10年的技术进步，10年的艰辛历程，带给我们的不仅仅是严峻的挑战，更有巨大的商机。真空技术涉及的领域广、应用面宽，几乎覆盖国民经济的各部门，因此真空设备的品种、性能、质量和技术水平直接影响着国民经济各部门技术装备的能力和水平，其重要性是不言而喻的。当今世界所有工业强国，无一不同时又是真空工业的强国。
（一）行业发展概况
真空设备行业在全国众多的机械工业行业中尚属小行业，但真空产品市场大，覆盖面宽。它被广泛应用于国防、科研、轻工、化工、机械、冶金、食品、建材、电子、医药等行业，产品畅销全国各地并远销欧美、东南亚及港澳地区，因此行业十年来的发展是有目共睹的。过去，全国仅有一个专业研究所，十几个专业定点企业。如今，据不完全统计，全国真空设备生产厂已发展到300多个，在职员工约3.5万人，现已拥有一大批具有较强的真空技术研究和开发能力的专业技术人才。
通过对真空设备行业近十年经济效益指标的分析，可以从一个侧面清楚地表明行业发展的历程。
据真空设备行业协会的统计数据表明，1988年40个企业的工业总产值仅为4.2亿元，销售总额为3.3亿元，利税总额为6498万元，全员劳动生产率13095元／人，出口创汇563万元。
而到了20世纪90年代的1993--1995年，在建筑玻璃镀膜和炼镁热的强力推动下，经济效益指标出现了显著的变化。1994年和1995年16个企业的工业总产值就分别为5.5亿元和7.7亿元，销售收入分别为4.4亿元和5.95亿元，利润总额分别为1780万元和2400万元，全员劳动生产率分别为18723元／人和28361元／人。
1997年受亚洲经济危机的影响，真空设备行业也不同程度地受到了冲击。1996年和1997年19个企业的工业总产值分别为5.58亿元和6.17亿元，销售收入分别为4.6亿元和5.5亿元，利润总额分别为1378万元和339.9万元，全员劳动生产率分别为18990元／人和15978元／人。出口创汇额分别为3785万元和3889万元。
1998--1999年，由于销售额下降，库存增加，利润下降，费用上涨，使得真空设备行业出现了两年的负增长。1998年28个企业的工业总产值为6.63亿元，销售收入为5.2亿元（比1997年下降13％），利润总额为－3254.7万元，出口交货值为4134万元。1999年20个企业的工业总产值为693亿元，销售收入为5.6亿元，利润总额为－2373万元，出口交货值为4399.9万元。
2000年国内外经济环境逐渐好转，使得全行业利润也由连续两年的亏损一举扭亏为盈。据统计，2000年40个企业的工业总产值为8.82亿元，销售收入为8.13亿元，利润总额为314.6万元，全员劳动生产率为30687元／人。出口交货值为4320万元。
（二）产品开发方向与技术进步
目前，真空设备行业形成规模经济的产品主要有四大类：真空获得产品、真空应用设备、真空测量仪器和真空阀门。近十年来，真空获得与应用设备产品开发与技术进步都取得了很大成绩。
1.真空获得产品
旋片式真空泵
旋片式真空泵是真空行业量大面广的产品，主要有X、2X、2XZ三个系列。其中X系列泵是为满足抽除大量水蒸气的需要而研制的，但市场占有量不大。2X系列皮带传动式旋片泵主要用于真空系统中的前级泵，近年来市场呈下滑趋势。2XZ系列高速直联旋片式真空泵近年来逐渐取代皮带传动式旋片泵，而成为产品开发的主流。该泵具有体积小、重量轻、结构合理、外形美观、经济适用等特点。目前国内不少厂家已生产出2XZ--0.5、1、2、4、8、15等六个规格的产品。该产品极限压力为7×10e(-2)Pa，噪声在55dB（A）左右。目前国内该种泵年产量约7--8万台，并以每年10％--15％的速度递增。
滑阀式真空泵
滑阀式真空泵有H、2H两个系列。H系列为单级滑阀式真空泵。该泵适用于抽除水蒸气或腐蚀性气体，可用于食品工业、真空包装、真空炉、冷凝器、干燥过滤设备等等。2H系列有2H--8、15、30、70四个规格。该泵正在向立式、多缸、具有较大抽除水蒸气能力的方向发展。该泵如能向小型化发展，可望替代旋片式真空泵，适应各种需求。
罗茨真空泵
在真空系统中，为了缩短抽气时间，一种一头连接高真空端，另一头连接低真空端的泵应运而生，这就是罗茨真空泵。目前国产的ZJL--150--2500型、LQ--150--2500型气冷式直排大气罗茨泵及其机组已在石油、化工、大型真空容器、汽轮转子动平衡试验以及空间模拟等装置上得以成功地运用。由于该泵具有抽速大，耐压高、无污染、低功耗等特点，因而有着广阔的应用前景。
油扩散泵
油扩散泵目前在我国仍然是高真空设备的主泵。由于该泵具有结构简单、无机械运转部件、寿命长、运转费用低、不易损坏、维护保养容易而且在高真空范围内的抽气速率大等特点，而被广泛应用于真空冶金设备、真空热处理设备和镀膜机生产线等设备上。近年来，该泵的主要开发方向是宽工作领域，低返油率和获得超高真空。
干式真空泵
干式真空泵是近年来国外发展较快的一个泵种。由于其结构紧凑、抽速大、真空度高、可直排大气、工作部件无摩擦、寿命长，又由于无油润滑、无油蒸汽排放，因此该泵种将成为21世纪环保之首选产品。其开发方向主要是爪式、涡轮式、涡旋式、螺杆型、罗茨型和组合型等泵种。我国干式真空泵还处于刚刚起步阶段，远远满足不了半导体工艺、液晶显示（LCD）、电子元件及生物制药等领域发展的需求。上海真空泵厂已研制出4LQ--30型爪式无油真空泵，该泵为四级立式结构，当气体中有微小颗粒和杂质时，容易通过排气通道逐级排出泵外。该泵抽气速率为30L／s，极限压力为1.5Pa。
润轮分子泵
随着微电子产业及液晶显示器产业的市场需求变化，近年来许多厂家除了研制干式真空泵外，还不断采用新技术，开发分子泵新产品，以适应分子泵替换油扩散泵的发展趋势。涡轮分子泵是一种靠机械高速旋转来获得超高真空的泵种。由于该泵90％的故障来自轴承的损坏，为了提高分子泵的可靠性和使用寿命，近年来该产品的主要开发方向是陶瓷轴承分子泵、防腐分子泵和磁悬浮分子泵，此外还有大流量、宽域型的涡轮一牵引复合分子泵。
2.真空应用设备
真空镀膜设备
真空镀膜设备可分为蒸发镀、离子镀和磁控溅射镀三种设备。国内近年来的主要开发方向是磁控溅射镀膜设备，该设备主要用于真空热管、幕墙玻璃及ITO透明导电玻璃镀膜。其特点是立式双面、基片移动的连续磁控溅射系统。目前国内最流行的是电弧离子镀膜机，主要用于装饰镀膜以及刀具、刃具、模具的镀膜和不锈钢板、钢管等的镀膜。
真空热处理设备
最新统计数据表明，我国现有专业真空热处理设备生产厂33个，现有各类真空热处理设备约2000台。主要产品有真空油（气）淬火炉、真空高压气淬炉、真空回火炉、真空钎焊炉、真空烧结炉、真空渗碳炉、离子渗碳（氮）炉和真空连续热处理炉等。从结构上看有单室、双室、三室、半连续式及连续式等真空热处理设备，基本满足了国内生产技术的需求，挡住了进口。近十年来，真空热处理已经进入技术领域不断扩大、工艺水平逐步提高、真空热处理设备不断完善及智能化、新技术接连涌现的稳定发展阶段。当前真空热处理设备的主要开发方向是进一步完善和提高国产高压气淬炉和高流率气淬炉的质量，并形成批量生产规模。同时，开发出具有低温对流加热和等温淬火功能的高压气淬炉。
电子工业用的真空应用设备
在半导体器件、集成电路的生产工艺中大量使用真空设备。这些设备包括单晶炉、分子束外延设备、化学气相沉积设备、离子刻蚀机、离子注入设备等等。近年来国内已生产出可拉制8in硅单晶、投料60kg的单晶炉，智能型程控扩散炉和微控扩散炉，亚微米干法刻蚀设备，双室、三室真空联锁传递的等离子化学气相沉积设备以及中束流离子注入机等等。其中中束流离子注入机的性能已接近世界先进水平。
真空压力浸渍设备（VPI）
真空压力浸渍技术主要用于电力电缆、电容器、大、中型高压电机、牵引电机、潜水电机等的制造工艺中。采用该技术可提高器件的绝缘耐压性能和机械性能，节能，省时，耐用，改善劳动条件并提高生产效率。近年来国内生产的真空压力浸渍设备有GQRS系列和ZYQ系列，均能满足电工产业的要求。
（三）产品技术引进与进出口贸易
1.产品的技术引进
20世纪80年代国内各领域掀起一轮引进国外先进技术与设备的新高潮。我国的真空工业与国外发达国家相比，起步较晚，差距较大。正是由于这种差距，真空行业各企业也在此高潮的推动下，纷纷引进国外先进技术与设备，或者与国外先进的大型企业合资，走联合发展之路。本行业先后从德国、美国、瑞士、日本等许多国家引进了先进的技术与设备。
十年来，真空科技工作者通过对引进技术与设备的消化吸收，使自己的专业技术水平不断提高，为发展我国真空工业打下了坚实的基础。更令人欣慰的是经过真空界几代人的努力，不仅使我国真空产品大大缩短了与国外产品的差距，更有许多设备完全可以替代进口设备。
如国投南光有限公司1995年与德国在香港地区注册的康大公司进行技术合作，共同生产集机械、真空、制冷、蒸发、自控为一体的技术难度较大的大型卷绕镀膜机。康大公司提供部分技术资料，并用他们的实践经验对南光公司的设备设计方案作一定的改进和提高，再配上该公司提供的先进的电气控制系统，从而使真空卷绕镀膜机不论在技术水平，还是在使用性能等方面都大大向前迈进了一大步，居国内领先水平，并很快跨入同类产品世界先进技术行列，完全可以替代进口设备。该产品绝大多数销往马来西亚，新加坡及韩国等国家。
锦州真空设备制造总厂消化吸收从美国进口的TRC--2020LV型镀膜机技术，试制成功JPG--6型磁控溅射低电阻镀膜机，并通过省级技术鉴定。经过一年的运转，证明该设备性能稳定可靠，具有20世纪80年代国外同类型设备的水平，填补了国内空白，可替代进口，为国家节省大量外汇，并且对加速我国电子工业发展具有重要意义。
北京仪器厂在消化吸收从瑞士引进的DIF--320型油扩散泵的基础上，成功地研制出K--320Y型油扩散泵，并通过专家鉴定，国产化程度达到80％。该泵具有抽速大、抽气范围宽、极限压力低、工作可靠等特点。其性能指标已达到瑞士泵的全部指标，其中关键的性能指标抽气速率还超过了进口泵的指标。
又如深圳万宝真空保鲜设备有限公司引进日本真空技术株式会社冷冻干燥技术，研制出真空保鲜设备。国投南光有限公司引进瑞士BALEERS公司直联旋片真空泵技术，经过消化、吸收，设计出ZXZ--4B型系列直联旋片式真空泵。兰州真空设备有限责任公司消化吸收国外卷绕镀膜机技术，开发了系列卷绕式真空镀膜机。沈阳真空技术研究所消化吸收国外先进技术，研制出真空浸渍设备、真空树脂浇注设备、真空气相干燥设备及大型建筑玻璃真空镀膜生产线等等。这些产品的水平均接近国际先进水平。
2.产品的进出口贸易
近十年来，随着真空应用技术的发展，真空获得产品也有明显的进步，但与国外工业发达国家相比，我国真空产品的整体水平还有很大的差距。正是由于这种落后状况与中国市场需求间的不协调，使得外商有机可乘，于是国外产品纷纷抢滩中国市场。其中电子行业用的真空镀膜设备及光学镀膜设备的75％来自德国莱宝公司，大型真空气淬炉、油淬炉多数来自美国伊普森公司、威福斯公司和法国ECM公司，小型氦质谱检漏仪等设备大多来自德国莱宝公司、日本岛津公司、日本真空技术株式会社、法国阿尔卡特公司和美国瓦里安公司等。在彩色显像管、冰箱及溴化锂中央空调行业中，也是进口产品占主导地位。由于飞机制造业的飞速发展，国内真空应用产品满足不了用户的需求，因此在20世纪90年代中期从国外进口了大量的真空设备。以沈阳飞机制造公司、西南飞机制造公司为例，他们先后从法国ECM公司引进了大型立式加压气淬炉（3Pa），从美国IPSN公司引进了立式气淬炉、卧式加压气淬炉（6Pa），从美国VFS公司引进了卧式加压气淬炉等等。仅日本岛津制作所近年向长沙远大中央空调、大连冷机等单位提供的旋片式真空泵就有几百台，此外还向沈阳飞机制造公司、沈阳黎明公司提供氦质谱检漏仪等设备，这无疑挤占了我国的真空产品市场。
尽管市场竞争如此激烈，近十年来我国的真空获得与真空应用设备的出口还是取得了一定的成绩。如沈阳真空技术研究所研制的真空镀膜机出口韩国，加压气淬炉出口泰国和朝鲜，钛合金冶炼铸造成套设备出口罗马尼亚等。
兰州真空设备有限责任公司生产的装饰镀膜机、磁控溅射镀膜机和连续卷绕镀膜机相继出口委内瑞拉、马来西亚、叙利亚、巴基斯坦、泰国及韩国。20M3的高真空多层绝热低温贮槽出口印度尼西亚。铝管带式真空钎焊炉先后出口德国、英国。此外，与德国技术合作生产的高档汽车灯具膜系沉积设备获得成功并返销德国市场。
浙江真空设备集团有限公司生产的H--150型滑阀式真空泵由于油路设计新颖、泵的噪声小、单级泵的极限真空度高等特点，而出口美国及东南亚各国，并在市场中有较强的竞争力。
上海真空泵厂以他们良好的质量保证和企业信誉，产品先后出口西欧、美国、澳大利亚、日本及东南亚等国家和地区。该厂的2XZ--2型、2XZ--4型高速直联旋片式真空泵为主要出口产品。
山东淄博真空设备有限公司生产的2X--4型、2X--8型、2X--15型旋片式真空泵以其外形美观、技术性能优良等特点，出口美国、马来西亚及东南亚等国家和地区，水环真空泵出口伊拉克、印尼等国家。
此外，广东真空设备厂股份有限公司生产的2X--0.5型真空泵也相继运往香港地区及东南亚市场。上海曙光机械制造厂生产的高真空连续镀膜机出口东南亚。国投南光有限公司生产的真空卷绕镀膜机出口马来西亚、新加坡和韩国等国家。南京真空泵厂生产的旋片式真空泵出口东南亚等国家。沈阳真空设备厂生产的2X--70型旋片式真空泵经外方考察认可，出口国外市场，为产品走出国门打下了良好的基础。
总之，就国外市场来看，随着半导体、液晶显示和电子元件的发展以及食品、生物制药等产品质量的提高，使得真空获得产品的需求量不断加大。但主要需求的是高质量的无油泵，涡轮分子泵和低温泵，而我国真空设备制造业在这些产品方面尚未形成完整的生产加工能力，在国际市场上缺乏竞争力。从国外对真空应用设备的市场需求来看，低公害、节能、环保的真空热处理设备应用较为广泛，需求量呈上升趋势，对制备锡掺杂氧化铟薄膜的直流磁控溅射镀膜机等设备的需求量也有所增加。我国对这类产品的制造与发达的日本、美国、德国相比，相差甚远，因此这些年来，我国真空行业大型成套设备出口率所占比重不大，还是以单机、单泵等低档产品为出口的主导产品，出口创汇额升幅不大。
（四）与国外对比的差距及今后发展趋势
纵观国外真空产品的发展历程，对我们预测产品发展趋势大有帮助。如日本的真空获得产品中的60％以上用于半导体和液晶显示（LCD）产业，传统的真空泵已无法满足上述产业对清洁、无油及耐腐蚀的需要。真空获得产品已经出现更新换代的局面，大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替，为此，日本的干式真空泵、分子泵和低温泵发展很快。
美国的真空工业为了适应半导体工业的发展，近年来各种真空泵的市场占有率及其发展也有很大变化。如美国电真空行业78％都使用低温泵，而其中大型集成电路生产也几乎全部使用低温泵。目前美国真空泵市场的发展趋势为：干式真空泵、分子泵和低温泵呈明显上升趋势，油旋转泵及其他泵呈平稳发展趋势，而油扩散泵则为下降趋势。
英国爱德华公司生产的各种真空泵年销售额达3.6亿美元，其中干式真空泵年销售额就达2亿美元，占总销售额的50％以上。
目前我国生产的各种真空获得产品的主要单项技术指标，如极限真空度、抽速与国外同类产品相比差距不大，但其综合性能指标与国外同类产品相比则有很大差距，且远远满足不了用户的需求。我国的真空获得产品仍停留在传统的真空获得手段上，高真空系统仍然是以油扩散泵为主。国产的油扩散泵普遍返油严重，而国外油扩散泵的返油率几乎可以达到分子泵的返油率水平。前级真空是以旋片泵、滑阀泵为主，但这两种泵的振动噪声较大，轴封漏油问题普遍存在。旋片材料尚未得到解决，直接影响大型直联旋片泵和单级旋片泵在高温下运行的可靠性和常温下的耐久性。国产罗茨真空泵的振动噪声均较大，特别是在高压差下运行的故障率较高，而国外有的罗茨真空泵可以多年不用检修等等。
由于真空设备行业各企业的技术力量与国外相比还很薄弱，未能形成强有力的研究开发能力，致使真空技术应用领域拓宽的速度远远落后于现代高科技的发展和日益增长的人民生活的需求。如半导体元件、液晶显示和数据库存储IT（信息产业）领域发展迅速，需求大量的高质量真空产品。而我国国内的复合分子泵、陶瓷轴承分子泵和磁悬浮分子泵尚未形成系列，未达到批量生产，涡轮分子泵的产量也不多。至于各种类型的于式真空泵及低温泵等则刚刚起步，无法满足上述产业发展的需求。
综上所述，从国外真空获得设备的发展趋势，结合我国国民经济的发展需要，可以预测：
进入21世纪，我国真空设备行业传统的真空获得设备在产品质量、可靠性、自动化水平及检测水平等方面也将得到全面提高。真空设备行业各企业将不断探索真空设备的耐用材料并研究其工艺软件，创出具有时代特征的名牌产品、参与国际市场竞争。
21世纪，各种清洁、无油、耐腐蚀的干式真空泵以及各种分子泵、低温泵在我国的发展前景将十分广阔。
21世纪，我国国民经济高效、持续、稳定发展的良好局面，必将为真空工业欣欣向荣、蓬勃发展带来无限生机。
二、2000年行业概况
（一）生产发展情况
2000年真空设备行业有会员单位70个，大专院校、科研院所13个，企业57个。按规模划分：大一型企业4个，大二型企业7个，中一型企业2个，中二型企业4个。其余为小型企业。有10个企业参加或成立了集团，有11个成立了股份公司或有限公司。
2000年全行业会员单位从业人员15420人，其中技术人员2184人，工人与学徒10400人，其他人员2836人。
2000年真空设备行业大部分企业生产、经营仍在低谷中运行，主要表现在任务不足、产品销售不畅、老产品生产过剩、新产品开发迟缓、产品结构不能适应市场发展的需要，导致经济效益差、利润不高，使企业生存发展空间日趋狭窄。针对这种情况，各企业加强了成本管理，全面推行采购指标比价制度，减少了物耗，降低了成本；强化了新产品开发力度和营销制度，在市场调查的基础上，采取与用户联手的方式，实现技术创新和新产品开发，扩大了市场需求，避免了单纯价格竞争，取得了较好的效果，使全行业经济指标有了恢复性增长。
据40个企业统计，拥有固定资产合计103058.4万元，流动资产年平均余额116216.1万元，完成工业总产值（不变价）86357万元，工业总产值（当年价）88177万元，工业增加值4.62亿元，产品销售税金及附加823.2万元，实现利润总额315.24万元，全员劳动生产率31919元／人。上述企业完成的真空产品产值占全行业的85％左右。
2000年行业各会员单位，在国内外经济环境逐渐转暖的形势下，积极调整产品结构，生产适销对路的产品，取得一定的效果，使全行业经济运行质量有所提高。另据29个可比会员单位统计，生产真空获得设备（各种真空泵、真空机组以及阀门等）约7万台，真空应用设备（包括各种真空镀膜机，真空热处理和冶炼炉以及真空冷冻干燥设备等）2000套；真空检测仪器仪表（包括各种测量仪表及真空检漏仪等）约5000台，完成工业总产值（不变价）7.1亿元，工业总产值（当年价）7.42亿元，分别比上年增长2.89％和7.1％，工业增加值2.8亿元，比上年增长31％，出口交货值3953万元，比上年增长26.2％。目前全行业仍有10个亏损企业，但亏损额较去年大幅度下降，盈亏相抵使利润总额由去年的负增长转为今年的正增长，出现了全行业扭亏为盈的好局面。
2000年真空设备行业骨干重点企业产值完成情况见表1，主要经济指标完成情况见表2。
（二）产品分类情况
真空设备行业产品可分5类：
1.真空获得设备
（1）机械真空泵：往复泵、旋片泵、滑阀泵、螺杆泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。
（2）射流真空泵：油扩散泵、油增压泵、水蒸气喷射泵和空气喷射泵等。
（3）其他类型泵：分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵和冷凝泵等。
（4）真空机组：根据不同用途的需要，由各种泵、阀、管路及测量仪表组成的抽气系统。
2.真空应用设备
（1）真空冶炼炉：电弧炉、凝壳炉、感应炉、单晶炉和电子束炉等。
（2）真空热处理炉：淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉和渗氮炉。
（3）真空镀膜机：蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机和离子镀膜机等。
（4）其他真空应用设备：提纯设备、蒸馏设备、冷冻干燥设备、浸渍设备、浇注设备、运输设备和宇宙模拟设备等。
3.真空测量仪表
低、中、高、超高真空计。
4.真空检漏仪器
氮质谱检漏仪、火花检漏仪和卤素检漏仪等。
5.真空阀门
挡板阀、翻板阀、插板阀、电磁阀、压差阀、隔膜阀、球阀和微调阀等。
（三）市场销售情况
自20世纪80年代末到90年代初，由于电子行业的真空浸渍和稀土材料、光学镀膜及炼镁等行业的发展，引发了真空产品供不应求的局面，一些企业为抢占市场，纷纷上马或扩大规模生产真空产品。据不完全统计短短几年时间企业数由几十个发展到约300个。当市场对真空产品的需求趋于饱和时，又未能开发出新产品，导致近几年来生产厂家过多、挤占市场、相互压价的恶性循环，使企业效益锐减、达到难以生存的地步。
2000年伊始行业内各企业一方面积极调整产品结构，生产技术含量高、具有高附加值的试销对路产品，另一方面采取加强企业内部管理，减少物耗，降低成本、提高营销策略和加强售后服务等措施，扩大了市场占有率取得了较好的效果。2000年，国内真空行业市场仍处于供大于求的局面。据29个可比会员单位统计，全年实现销售收入8.13亿元，比上年增长33.7％，销售产值7.3亿元，比上年增长16.7％，出口交货值4320万元，稍低于上年，库存额1.47亿元，比上年减少了33％。
从总体情况分析，我国真空行业已经形成门类齐全，较完整的工业体系。除半导体、宇航、生物工程等高新技术需要的无油、清洁真空设备及防信号衰减和抗干扰、智能化的真空测量仪表，尚不能满足需要外，无论从品种规格上、还是产品技术性能指标上都具有一定水平，基本上能满足国民经济各行各业的需要，加之国产产品价格低廉，维修方便，因此，国产真空设备在国内市场上使用量很大，具有较高的占有率。据初步测算，行业内的产品市场占有率为60％左右，行业外为20％左右，进口占15％--20％。2000年真空设备行业国内销售收入前15名、出口交货值前10名企业见表3、表4。
（四）新产品
（1）上海曙光机械制造厂研制的ZZ--1800K型高真空卷绕镀膜机，通过上海市经委新产品鉴定，并获上海市优秀新产品奖及科学技术进步奖。该设备总体性能处于国内同类产品领先水平。主要用于包装、防伪、转移膜及航天保护膜等领域。其卷绕张力控制系统已获国家专利。
该厂开发的KC--3A型高真空磁控溅射镀膜设备是微机控制的全自动三工位CD--R电脑光盘及可读写光盘专用设备。该设备达到了国际同类产品先进水平，填补了国内空白，可替代进口产品，首批设备已交港商使用。
该厂与国防大学共同研制开发的JZJ--1200型高真空磁控溅射卷绕镀膜机，用于生产太阳控制膜、低辐射膜及ITO膜等功能性膜层，是国内首创新型设备，其性能达到国际同类产品水平。
该厂还为世界500强之一的美国著名跨国公司开发了ZZB--2500型全自动、机电一体化大卷径高真空卷绕镀膜机，其整机性能达到国际领先水平。
（2）沈阳真空技术研究所研制成功的VSF--436型高真空烧结炉，适用于铝、镍、钴产品烧结。用户反映性能良好，烧制成的产品质量高。
该所研制的由真空箱、热处理炉和真空搬运车组成的成套设备，适合碳化硅复合材料的处理.解决了此种材料在电子辐射后发生化学变化、性能不稳定、不能与氧等分子接触的问题。该成套设备属于国内高科技开发项目。
（3）广东真空设备厂股份有限公司研制的X--100B型旋片真空泵和JP--2500型磁控镀膜生产线，通过了由广东省科委组成的科技成果鉴定，认为其性能指标良好，外形美观，填补了国内空白。其中X--100B型旋片泵被国家科技部列入重点新产品计划，并被列为国家重点新产品。
该公司研制的用于恶劣环境真空泵和浸渗天然石材的真空着色机，被授于2000年实用新型专利。其中浸渗天然石材的着色技术及产品还荣获科学技术进步三等奖。
（4）兰州真空设备有限责任公司2000年共开发了11项新产品，其中ZR--20--18T型柜式真空高温烧结炉和JPTD--1000L型光电材料磁控卷绕镀膜机，通过省级鉴定。
（5）浙江真空设备集团有限公司研制的2X--30A型旋片泵和SK--12A单级水环泵，通过了省经贸委鉴定。2X--30A型泵是国内首先采用立式结构，具有体积小、外形美观、极限压力小等优点。SK--12A单级水环泵，采用悬臂结构，制造方便，且极限压力小于2667Pa，可代替双级水环泵。该公司还为美商开发了H--300A型立式滑阀真空泵。具有外形美观、占地面积小、只有原H--300型泵的1／2，且振动小。该公司还完成了亚磷酸一二甲酸工程真空系统，该系统是以LQ--2500型气冷式罗茨泵为主泵的大型机组，每套可代替原12套W--300型往复泵，实耗功率仅为原设计的1／4。
（6）锦州真空设备制造总厂研制的zGQs型气封烧结炉，适用于高性能复合材料增强纤维的烧结，可在大气压下进、出炉，并能连续操作。可靠的密封结构、低含氧量技术指标，均达到国内同类产品的先进水平。
（7）北京仪器厂（集团），2000年共开发出17项新产品。其中与清华大学共同开发的ZZST--480型超高真空镀膜机，极限真空达到10e(-8)SPa，为国内产品极限真空之冠。与香港宏威数码公司共同开发的XJPG--9Z型磁控溅射柔性生产线设备，在技术水平与产品档次上可与瑞士巴尔蔡斯公司同类产品相媲美。主要用于半导体大规模集成电路的生产。该产品的研制开发为首都信息产业发展提供了保证。同时该公司还自行开发出ZZI--800型真空晶体镀膜机，适用于表晶晶振器和高频振器的厂家，该机特点是镀层牢固.均匀性好，并实现了全程自动化控制。
（8）淄博真空设备厂有限公司，为缩小与国外产品的差距，经过几年努力，先后开发出具有先进水平的SKA型系列水环泵、2SY型高压压缩机、WL--600型无油往复泵、2SY--12型高压耐腐机组和ZBK--33型湿式罗茨泵。
（五）质量及质量管理
2000年真空设备行业为提高企业的整体素质和管理水平，提高产品质量，增强市场竞争能力，认真地宣贯了GB／T19000、ISO9000系列标准，取得一定成效、产品质量有了进一步提高。目前全行业有沈阳真空技术研究所等10个企业获ISO质量体系认证证书，还有一些企业正在积极准备，力争早日取得质量体系认证。
（1）兰州真空设备有限责任公司在1999年取得ISO09001质量体系认证的基础上，2000年又顺利通过复审，并取得了具有一、二类压力容器设计许可证和制造许可证，及CR2级低温槽罐设计制造资格。
（2）国投南光有限公司采用高技术、新工艺，使产品质量和性能有很大提高对H--150S型滑阀泵采用三联式滑阀自动平衡机构，减少了运行振动，也降低了噪音。采用独特的渗气系统，提高泵排除水蒸气的能力，应用了强制供油系统，改善了润滑和密封条件，使泵的真空度得到了相应提高。对大型扩散泵采用PIA技术，对泵油温实现监控，使泵真空度和抽气速率更加稳定可靠。该公司采用了新一代涡轮分子泵变频电源，将拖动分子泵的电机参数，运行程序写入变频器中，实现了操作方便、运行可靠。具有停车减速，过载能力强等特点。
（3）浙江真空设备集团有限公司、国投南光有限公司、广东真空设备厂股份有限公司、沈阳恒星实业有限公司等都顺利通过了2000年ISO9001质量体系认证复审。
三、基本建设及技术改造
真空设备行业为进一步解放思想、转变观念，以质量效益为中心，加快了产品结构的调整和技术开发力度，生产具有高附加值、市场需要的产品来拓展真空产品的应用领域，扩大市场占有率，多年来各企业多方筹集资金，加大设备更新和技术改造力度，依靠科技进步，实现经济方式根本性转变。据12个重点企业上报的材料统计，共累计投资近两亿元人民币进行技术改造取得了明显的效果。如兰州真空设备有限责任公司，经几年的努力，先后建起高水平的新产品实验室、化学实验室、物理性能实验室和真空检漏实验室，并从国外引进了高性能的加工设备用于生产高科技产品。大型低温车间已建成并投入使用。几年来研制出许多具有国内外先进水平的产品，获部、省市的奖励。
淄博真空设备厂有限公司“七五”期间投入730万元建成6184me2新厂房，购进113台立式加工中心和卧式加工中心，并建立一个省“七五”期间板样车间。“八五”期间又投资3100万元。为改善铸件质量引进德国EC0（爱克）公司的树脂砂铸造工程设备，价值52万元。为进一步完善产品加工、装配和测试等手段，购进了各类先进仪器和设备共耗资1000万元。至此，形成了能生产各类大型、高技术、高附加值的真空获得和真空应用产品。
上海真空泵厂为解决机械真空泵噪声较大的问题，自筹资金率先建立行业内第一个噪声振动实验室，为分析研究减少泵的噪声、降低震动提供了有效手段。由世界银行多边基金资助的FCF项目，于1998年正式启动，用德国的半封闭制冷压缩机代替国产CF--12小型半封闭压缩机，该项目总投资272万美元，其中203万美元由世界银行多边基金赠款。德国提供样机，并引进美国公司的先进加工中心使产品加工效率和精度有了明显的提高。
国投南光有限公司也投入巨额资金更新装备。为提高罗茨泵主、从转子加工精度，使用数控龙门刨床加工，该刨床的数控单元是日本FANAC公司零系统控制，可以方便地实现三坐标二联动操作，从而提高了罗茨泵综合性能和产品加工质量。
浙江真空设备集团有限公司，列入国家二期“双加”工程项目（生产工业技术改造），总投资2900万元，1998年完成。改进了产品工艺，使工作效率和产品质量有很大提高。其他如北京仪器厂、广东真空设备厂股份有限公司等厂都从境内外引进了加工中心。
四、合资合作
另外，为弥补自己技术和资金不足等缺陷，为使产品尽快达到国际先进水平，开展了合资合作、技术引进和与用户联手等方式开发市场需要的高质量的产品。
1999年成都仪器厂与德国莱宝公司共同开发的202--1／1A／1B型电阻真空计，得到莱宝公司的认可，现已批量生产，测量范围11×10e5--0.1Pa。另外，与“二炮”合作开发的ZLS--260型全功能氦质谱检漏仪经“二炮”验证，其性能可靠，各项技术指标均达到要求，并已批量生产。
北京仪器厂与清华大学联手开发的ZZST--480型超高真空镀膜机，极限真空达到10e(-8)Pa，为国内真空应用设备极限真空之冠。
上海曙光机械制造厂与国防大学共同研制的JZJ--1200型高真空磁控溅射卷绕镀膜机，用于生产太阳控制膜、低辐射膜及ITO膜等功能性层膜，是国内首创新型设备，其性能达到国际同类产品先进水平。
1996年4月淄博真空设备厂有限公司与德国西门子公司双方投资1.18亿元，在淄博成立了西门子真空泵压缩机公司，合作开发液环式水环真空泵及压缩机，产品25％出口。
五、管理及改革
自党的十一届三中全会以来，真空设备行业的改革和发展取得了显著成就。1994年以来真空行业为了进一步落实党的十四大精神，认真贯彻了“全民所有制转机条例”，积极开展了“转机制、抓管理、练内功增效益等活动，有力地促进了机制转换工作，使资产得到了优化组合，管理水平有了进一步的提高，并取得了良好的经济效益。目前共有21个企业转换了机制；它们是浙江真空设备集团有限公司，北京仪器厂（集团）和上海真空泵厂、上海曙光机械制造厂和上海阀门二厂参加了上海通用机械集团，临海精工真空设备厂、黄岩求精真空泵厂、台州佳力真空设备有限公司参加了浙江真空设备集团，贵阳黔江机械厂属于中国贵航集团；广东真空设备厂股份有限公司，兰州真空设备有限责任公司、淄博真空设备厂有限公司、国投南光有限公司、抚顺真空设备有限公司、北京中科科仪技术发展有限责任公司、宁波爱发科真空技术有限公司、衡阳市真空机电设备有限公司、深圳亨达莱真空技术工程公司（中外合资），承德达优真空技术工程有限公司、辽宁创业教学仪器有限公司、沈阳真空技术研究所隶属中国机械装备集团总公司。
转制后，运行较好的企业，如广东真空设备厂有限公司，在1993年改制后不到3年的时间，产值、销售额、利税总额均有增长，1995年的产值、销售额、利税总额分别为1亿元、8271万元、844万元，分别比1992年增长299％、236％和186％。1994年被广东省评为“高新企业”、“广东省质量效益先进企业”，1995年获广东省企业技术进步奖。其他企业如淄博真空设备厂有限公司、浙江真空设备集团有限公司也都根据各自情况，强化了管理，提高了工效，使企业经济效益有较大提高。
总体来看，行业管理水平和技术水平及产品质量都在逐年提高，应该说行业经济运行质量基本上是良好的。但也应清醒看到我国真空产品无论在技术上还是在产品质量上与国外、与国民经济发展的需要上还有不少差距，如不尽快采取措施，缩小差距，入世后步履将会更加艰难，生存空间就会越来越小，甚至有被市场淘汰出局的危险。
综观全面，真空行业的各企业发展是不平衡的，产生的效益也不尽相同，有较大差异。一般来说，机制较灵活，结构优化较好的，产品质量处于上乘的，技术改造力度大的和开发能力较强的单位，发展速度都较快、经济效益也较好。例如淄博真空设备厂有限公司，兰州真空设备厂有限责任公司、浙江真空设备集团有限公司、广州真空设备厂股份有限公司、北京仪器厂（集团）、佛山水泵厂、成都仪器厂、宁波爱发科真空技术有限公司、中科院沈阳科学仪器研制中心和北京中科科仪技术发展有限责任公司等。还有一些企业生产历史悠久、规模较大、有一定管理水平和经验，技术力量和设备、产品质量都属于行业上乘的单位，虽近两年因各种原因经济效益不够理想，只要各方面调整到位，潜力还是很大的，将会取的很好地发展。如上海真空泵厂、上海曙光机械制造厂和国投南光有限公司等。为了进一步说明企业状况，下面简要地介绍6个系统内行业骨干企业和4个系统外主要企业的状况：
（1）兰州真空设备有限责任公司是中一型企业，省一级质量管理企业、国家二级企业计量单位、真空行业骨干企业、也是真空行业唯一获得一、二级压力容器设计和制造许可证及CR2低温槽罐设计资格的单位。
该厂1965年由上海迁至兰州。厂区占地面积8.4万me2、建筑面积2.3万me2。拥有固定资产3099万元，固定资产原价合计3503万元，流动资产年平均余额5645万元。金属切削机床103台，其中数控机床1台，锻压设备11台。职工人数673人，其中工人与学徒382人，技术人员101人。2000年实现工业总产值（当年价）2767万元、销售收入2603万元、工业增加值798万元、出口交货值236万元、应交增值税189万元，利润总额23万元。
主要产品有4大类，18个系列，200多个规格。真空获得设备：旋片真空泵、扩散真空泵、油增压泵、水蒸气喷射泵及各类真空机组；真空应用设备：各类真空镀膜机，各种真空热处理炉、金属提纯炉、真空浸渍设备和低温储存容器等。
1997年由厂转为公司。该公司多年来把面向市场，瞄准国际先进水平，开发新产品做为企业的长期发展战略目标，并为此加大了技术改造和新产品开发力度，从国外引进了高性能加工设备，使开发能力和制造水平有了很大改善和提高，并在2000年实现了电子信息网与互连网，注册了兰州真空国际域名和中国域名，制作了企业网页，树立了企业形象，实现了产品上网，方便了用户联系。自建厂以来，每年都有新产品投入市场，新产品产出率年约在40％以上、具有较好的市场占有率，在空分行业占100％，空调铝散热器行业占50％，汽车配件行业占20％。
（2）淄博真空设备厂有限公司是大二型企业、省一级质量管理企业、真空行业骨干企业。1958年建厂，厂区占地面积15万me2，拥有固定资产2830万元，固定资产原价合计4524万元，流动资产年平均余额5532万元。金属切削机床105台，锻压设备11台。职工人数557人，其中工人与学徒323人，技术人员39人。
2000年实现工业总产值（当年价）3769万元，销售收入3301万元，工业增加值1132万元，应交增值税172万元，出口交货值94万元，实现利润126万元。
主要产品真空获得设备：各种旋片真空泵、水环真空泵、往复真空泵、罗茨真空泵、水蒸气喷射泵、无油真空泵和耐腐蚀泵等，真空应用设备：有各种真空干燥机、真空镀膜机、真空净油机、真空压力浸泡机和真空蒸煮设备等5大品种，15个系列，近百个规格。企业十分重视依靠科技进步作为经济发展的增长点，“七五”和“八五”期间先后投资近4000万元技术改造基金。1992年，在全行业率先建立了SYMIS和SYCAT计算机辅助管理系统和计算机辅助测试系统，经过三年来试运行，于1995年通过国家验收，正式投入使用；随后又于1997年建立起了CAD计算机辅助设计系统，使企业管理水平、制造水平和开发能力有了长足进步，经济效益也处于全行业前茅，1994年被机械部批准为首批技术示范试点企业。2000年该厂实现了股份制，为建立现代企业制度又向前迈出了一步。
（3）浙江真空设备集团有限公司是大一型企业、省级质量管理企业，真空行业骨干企业。于1952年建厂，厂区占地面积9万me2，拥有固定资产1019万元，固定资产原价合计1.1亿元、流动资产年平均余额5260万元。金属切削机床184台，其中数控机床4台，锻压设备8台。职工人数674人，其中工人与学徒420人，技术人员109人。
2000年实现工业总产值（当年价）4516万元，销售收入4236万元、出口交货值150万元、工业增加值2244万元、应交增值税459万元、利润24万元。
主要产品真空获得设备有各种滑阀真空泵、罗茨真空泵、气冷式罗茨真空泵，水环真空泵、油环真空泵、往复真空泵、扩散泵、无油真空泵及各种真空机组。同时还生产水环压缩机及无油压缩机等。真空应用设备有各种真空光学镀膜机、真空冷冻干燥机、真空净油机、食品包装机、真空浸渍设备及全自动真空封罐机。还生产各种真空仪表。
该公司多年来坚持用户第一，以用户需要为目标，开发、生产适合用户的产品，最大限度满足用户需要为目的的战略方针，并以此扩大市场、占领市场，依靠科技进步增效益。为此“七五”和“八五”期间共投入技术改造资金近4000万元，建立起树脂砂铸件生产线，油漆生产线、完成了国家二期“双加”真空设备生产工艺的改造任务。通过以上技术改造使制造和开发能力及产品质量都有很大的提高，产品质量一直处于行业之首，享有较高的信誉，市场占有率也很高。“ZZ牌”真空泵（包括各种真空泵和真空机组）被浙江省列为名牌产品，多年来有7种产品先后获国优、部优、省优。该公司还被列入国家“CAD”工程试范点，于1999年通过省级验收，并被推荐为全国优秀“CAD”工程示范企业。
（4）广东真空设备厂股份有限公司是大二型企业、省先进企业和真空行业骨干企业，1969年建厂，厂区占地面积16万me2，拥有固定资产5450万元，固定资产（原价）6155万元，流动资产年平均余额4579万元。金属切削机床110台，其中数控机床2台，锻压设备13台。职工人数310人，其中工人与学徒220人，技术人员65人。
2000年完成工业总产值（当年价）3811万元，销售收入2985万元，工业增加值945万元，出口交货值290万元，应交增值税253万元，利润42万元。
主要产品真空获得设备：旋片真空泵、无油真空泵、扩散泵及各类机组。真空应用设备：各种真空镀膜机、玻璃清洗机、真空脱水干燥设备、果脯浸渍设备、真空包装机，负压站和石材浸渗设备等。
该公司1993年改为股份制，通过参股、控股、联合、兼并等形式的优化组合、打破行业界限，集科、工、贸为一体的10个企业组成的股份公司。总资本超亿元。改革开放以来，公司一贯坚持依靠科技进步，促进企业的发展，厂内设有真空设备研究所和先进的实验室对真空获得和应用设备进行研究开发。还积极开展横向联合，与高等院校、科研院所及国外同行进行广泛合作。有效的管理加之相应的策略，使公司的开发能力不断增强，开发出许多高附加值的新技术、新产品。1994年被广东省认定为高新技术企业，获广东省“质量效益型先进企业”称号。
（5）上海真空泵厂是中二型企业，市级先进企业，真空行业骨干企业。1934年建厂，厂区占地面积3.3万me2。拥有固定资产1054万元，固定资产（原价）合计1574万元，流动资产年平均余额3699万元。金属切削机床100台，锻压设备3台。职工人数331人，其中工人与学徒141人，技术人员33人。2000年完成工业总产值（当年价）2640万元，销售收入2671万元，工业增加值911万元，出口交货值81万元，应交增值税162万元。
主要产品有21个品种，1000余个规格。真空获得设备有旋片真空泵、罗茨真空泵、往复真空泵、回转式鼓风机真空泵、涡轮分子泵、无油旋片真空泵、冷阴极溅射钛离子泵、钛升华泵、分子筛吸附泵和各种真空机组。真空应用设备有各种光学镀膜和制镜镀膜机等。
该厂是我国生产真空泵最早的一家，被誉为“中华真空第一家”。自20世纪60年代到90年代为我国国防军工、通讯卫星、宇宙模拟、核能研究和机械、石化、冶金制药等国民经济各部门提供了大量真空设备和先进的真空技术，为国家作出了应有的贡献。在市场经济中为改变经济增长方式，“七五”到“九五”期间自筹和世界银行资助技改基金近3000万元，成立了真空技术研究所，建立了震动、噪声实验室，引进了加工中心，完善了测试手段，使产品质量和开发能力有明显提高。同时针对市场需要，积极调整产品结构，扩大真空技术应用领域，开辟了真空光学镀膜和制镜镀膜机和大型罗茨泵机组等一系列高科技、高附加值产品，使企业走向科技效益型发展之路。改革开放以来研制开发出的众多新产品中，有多项获部、市级奖励，有的还销往东南亚、美国等。
（6）上海曙光机械制造厂是中一型企业，市先进企业，真空行业骨干企业。1956年建厂，拥有固定资产2447万元，固定资产原价合计2997万元，流动资产年平均余额2421万元。金属切削机床55台，锻压设备6台。职工人数202人，其中工人与学徒81人，工程技术人员23人。
2000年完成工业总产值（当年价）1904万元、销售收入1991万元，工业增加值517万元、出口交货值165万元，应交增值税101万元。
主要产品共分5大类，28个系列，90余种规格。真空获得设备有扩散泵及扩散泵机组。检测仪器有各种真空计、真空过程控制仪及膜厚控制仪等。真空应用设备有各种光学镀膜机、离子镀膜机、磁控镀膜机和卷绕镀膜机等。低温深冷容器有各种液氮、液氦储存容器及生物容器等。
该厂是生产各种成套设备的专业厂，技术水平高，开发能力强，每年都有新产品问世，多年来研究出150余种产品，用于国防、科研、电子、光学、轻工和机械等行业。近年来研制成多种具有国际先进水平的镀膜机，并批量出口12个国家和地区。改革开放以来，进入市场经济、充分发挥自己的技术优势和特点，开发市场需要的高附加值产品，具有较强的市场竞争能力。该厂为属世界500强的美国著名跨国公司开发了ZZB--2500型全自动机电一体化大卷径高真空卷绕镀膜机，其整机性能达到国际领先水平。
（7）北京仪器厂（集团）是大二型企业，市质量管理优秀企业，行业主要企业。1954年建厂，厂区占地面积10万me2，固定资产原价合计6481万元，流动资产年平均余额1.1亿元。金属切削机床249台，其中数控机床6台，锻压设备24台。职工人数646人，其中工人与学徒283人，技术人员129人。
2000年完成工业总产值（当年价）5326万元，销售收入为5399万元，工业增加值1425万元，出口交货值12万元，利润总额255万元，应交增值税207万元。
主要产品有旋片真空泵、罗茨真空泵、油扩散真空泵、分子泵及各类真空机组；各种光学膜、电子膜、装饰膜和硬化膜等真空镀膜设备及离子蚀刻机等；各种真空仪表和膜厚监视仪等四大类，30多个系列、130多个品种。
该厂属于高科技密集型大中型企业，技术力量雄厚、工艺和测试手段齐全，拥有一大批高级技术人员，每年开发新产品十余种以上，先后有30多种产品获部、市科技奖。部分产品出口韩国、朝鲜、美国、意大利、伊朗、巴基斯坦和新加坡等国和地区。
改革开放以来，瞄准国际真空技术先进水平，加大了技改投资力度，“九五”期间投资1100万元于“双加”工程项目，引进台湾立式加工中心，以发展大型自动化成套设备为龙头，带动基础产品及应用软件技术的全面发展。为了提高设计质量和缩短新产品开发周期，还建立了“CAD”工作站，被列入北京市“CAD”应用工程示范点。通过以上措施，使产品质量和开发能力有显著的提高，为企业可持续发展增强了后劲。如1999年开发的24项新产品中，其中与香港宏威公司联合开发的ZJPG--92型磁控溅射镀膜生产线，其技术水平、产品档次可与瑞士巴尔蔡斯公司的产品相媲美。
（8）国投南光有限公司是大一型企业，真空行业主要企业。1877年建厂，厂区占地面积28万me2，拥有固定资产1.9亿元，固定资产原价合计2.4亿元，流动资产年平均余额1.4亿元。金属切削机床172台，其中数控机床20台，锻压设备14台。职工人数1863人，其中工人与学徒1199人，技术人员129人。
2000年完成工业总产值（当年价）9405万元，销售收入9033万元，工业增加值3525万元，出口交货值144万元，应交增殖税517万元。
主要产品有旋片真空泵、罗茨真空泵、油扩散真空泵、油增压泵、分子泵、低温泵及各类真空镀膜机等8大类12个系列。
该公司是国内从事电子、机械工艺装备、研究生产骨干企业，是真空设备研究制造的最大企业。该公司技术力量雄厚、设备精良、产品种类多，质量好，在国内享有较高的声誉，受到广大用户的信赖。2X型旋片泵处于行业领先水平，市场占有率为10％，2XZ型直联旋片泵处于国际20世纪90年代初水平，市场占有率为10％，罗茨泵及分子泵处于行业先进水平，市场占有率分别为10％和40％。
为了促进泵的不断的发展，尽快接近或达到国外先进水平，“七五”期间投入数千万元对真空泵进行改造，并引进瑞士巴尔蔡斯公司的20世纪90年代直联泵生产技术，经过吸收消化，设计了2XZ--15A型直联旋片泵，继此又在1999年试制了2XZ--8D型、2XZ--15D型直联旋片泵，使我国旋片泵技术水平跨上了一个新台阶，完全可以替代进口。滑阀泵采用了三联式滑阀自动平衡机构，减少了震动，降低了噪声；采用了独特的掺气系统，提高了泵排除水蒸气的能力；应用了强制供油系统，改善了润滑和密封条件，使泵的极限压力得到了相应提高。对大型扩散泵采用PIA技术对泵温实现监控，使泵的真空度和抽气速率更加稳定可靠，采用新一代分子泵变频电源，将拖动分子泵的电机参数、运行程序写入变频器中实现了方便操作，运行可靠，具有停车减速、过载能力强等特点。从中可以看到公司投入大量资金对各种泵进行改造，取得了极佳效果，使公司生产的各种真空泵更加先进，更快接近国外水平，不但满足国内需要，又为出口创造了条件。
（9）佛山水泵厂是大二型企业、省级先进企业，国家二级计量企业、行业主要企业。1954年建厂，厂区占地面积12万me2，建筑面积4万me2，拥有固定资产1484万元，固定资产原价合计6545万元，流动资产年平均余额1.1亿元。金属切削机床115台，其中数控机床17台，锻压设备32台。职工人数749人，其中工人与学徒452人，技术人员123人。
2000年完成工业总产值（当年价）1.28亿元，销售收入1.37亿元，工业增加值5378万元，出口交货值2724万元，利润总额868万元，应交增值税878万元。
主要产品有2BEI型系列、SK型系列、ZYK型系列水环真空泵；XA型系列、LS型系列单级离心泵、D型多级泵；XAZ型直联单级离心泵；两项流纸浆泵和耐腐泵等20个系列，100多个品种，300多个规格。2BEI系列水环真空泵获国家优质产品金奖、机械部科技进步二等奖，并取得德国西门子公司的生产许可证。该系列的2BEI705--1、2BEI605--1型水环真空泵和SK--42型水环真空泵被广东省评为优质产品称号。
该厂管理规范，设备齐全，技术力量雄厚，具有较强的制造和开发能力，厂内设有水环真空泵研究所、真空泵分厂、理化中心、计量中心、模具分厂等20多个部门，并建立了完整的生产、质量保证体系，产品在国内外享有较高的声誉，早在1989年就被国务院批准为第一批出口扩权单位，也是真空行业水环真空泵主要生产厂家。
（10）中科院沈阳科学仪器研制中心是行业主要会员单位。1958年建立，厂区占地面积4万me2，拥有固定资产4070万元，固定资产原价合计1492万元，职工人数318人，其中研究员和高级工程师占13.7％。
2000年完成工业总产值（当年价）2017万元，销售收入3200万元，利润总额166万元。
主要产品：1）薄膜制品设备；RF／DC磁控溅射镀膜机、PCVD镀膜机、激光镀膜和蒸发镀膜机等；2）半导体工艺设备：封装设备和排气台等；3）真空炉：磁控电弧炉、磁控熔炼烧铸炉、真空退火炉、单晶炉等；4）阀门：超高真空阀，闸板阀，金属角阀和微调阀等；5）分子束外延设备：一、二、三、四、五型激光分子束外延系列；6）纳米、微米制粉设备：直流电弧制粉、激光诱导制粉和等离子体制粉等。
该中心是研制、生产大型薄膜工艺设备，表面分析仪器，微米、纳米制粉设备和各类科学仪器的基地。技术力量雄厚，形成了以真空、微电子、精密机械、电子光学、自动控制、计算机的科技管理、经营管理为主的技术开发队伍和技术管理队伍以及一支具有较高水平的技术工人队伍，能够承担国家级高水平的科学研究和开发工作。40年来，先后研制开发了具有国际先进水平和国际领先的各类科学仪器和多项成果，填补了国内空白，为国家做出了贡献。如“七五”和“八五”期间，承担国家重点科技攻关项目，金属有机源分子束外延设备，PCVD非晶硅太阳能电池制备设备的研制工作，并分别获得机械电子部“七五”科技攻关重大成果奖和中科院科技进步二等奖。
近年来，随着我国市场经济的发展，中心坚持以市场为导向，瞄准新材料、功能材料、薄膜技术和薄膜行业的发展需求，先后研制开发了各种真空镀膜工艺设备几百台，并获国家和院里多项奖励。
表１  ２０００年真空设备行业骨干重点企业产值完成情况

序号  企业名称                   工业总产值(当年价)             销售产值(当年价)

                              2000年完成  上年完成  为上年完成  2000年完成  上年完成  为上年

                              (万元)    (万元) %          (万元)    (万元) 完成%

1    成都仪器厂                9901       9040    109.5    11934    735    162.4

2    国投南光有限公司          9405       7494    125.5    8984       7192    124.9

3    北京仪器厂(集团)          5236       4549    115.1    5330       4507    118.3

4    浙江真空设备集团有限公司 4516       3788    119.2    4432       3427    129.3

5    广东真空设备厂股份有限公司  3811       11826    32.2       3799       11406    33.3

6    淄博真空设备厂有限公司    3769       3892    96.8       3944       3078    128.1

7    兰州真空设备有限责任公司 2767       2384    116.1    2674       2429    110.1

8    上海真空泵厂             2640       3815    69.2       2647       3616    73.2

9    上海曙光机械制造厂       1904       1316    144.7    1980       1192    166.1

10 沈阳恒星实业有限公司       1482       1611    92.0       988       944    104.7

11 上海阀门二厂             1353       1295    104.8    1252       1233    101.5

12 沈阳市真空机械三厂       975       996    97.9       912       870    104.8

13 南京真空泵厂             875       999    87.6       850       846    100.5

14 深圳亨达莱真空技术工程公司  600       815    73.6       600       815    73.6

15 锦州真空设备制造总厂       430       303    141.9    415       335    123.9

16 抚顺真空设备有限公司       323       297    108.8    129       164    78.7

   合计                      49987    54420    91.9       50870    42789    118.9

表２  ２０００年真空设备行业骨干重点企业销售完成情况

序号  企业名称                   销售收入             销售成本             利润总额

                              2000年完成  为上年完成  2000年完成  为上年完成  2000年完成  为上年

                              (万元)    %          (万元)    %          (万元)    完成%

1    成都仪器厂                11424    156.7    6029       130.8    126       -

2    国投南光有限公司          9033       128.4    6892       129.3    -201       -

3    北京仪器厂(集团)          5399       120.5    4470       119.1    255       103.5

4    浙江真空设备集团有限公司 4236       125.3    2528       107.3    24       50.0

5    淄博真空设备厂有限公司    3301       125.0    2204       142.8    126       565.0

6    广东真空设备厂股份有限公司  2985       97.8       1925       62.2       42       126.0

7    上海阀门二厂             2737       113.7    2333       112.0    5          -

8    上海真空泵厂             2671       74.2       1497       57.6       0          0

9    兰州真空设备有限责任公司 2603       114.4    1755       114.5    23       101.4

10 上海曙光机械制造厂       1991       192.9    1628       127.2    0          0

11 沈阳恒星实业有限公司       1006       122.4    618       123.2    0          0

12 沈阳市真空机械三厂       916       105.2    766       110.9    6          600.0

13 南京真空泵厂             853       102.8    509       98.0       2          210.0

14 深圳亨达莱真空技术工程公司  513       73.2       400       82.6       -31       -

15 锦州真空设备制造总厂       132       122.0    116       148.7    -178       -

16 抚顺真空设备有限公司       104       54.2       52       44.1       -135       -

   合计                      49904    122.6    38771    128.2    64       -

表３  ２０００年真空设备行业企业销售收入排序

序号  企业名称                   销售收入

                                 (万元)

1    佛山水泵有限公司             13659

2    成都仪器厂                   11424

3    国投南光有限公司             9033

4    北京仪器厂(集团)             5399

5    浙江真空设备集团有限公司    4236

6    杭州真空设备厂             3936

7    淄博真空设备厂有限公司       3301

8    北京中科科仪技术发展有限公司  3200

9    广东真空设备厂股份有限公司 2985

10 上海阀门二厂                2737

11 上海真空泵厂                2671

12 兰州真空设备有限责任公司    2603

13 上海曙光机械制造厂          1991

14 宁波爱发科真空技术有限公司 1587

15 衡阳市真空机电设备有限公司 1247

表４  ２０００年真空设备行业企业出口交货值排序

序号  企业名称                   出口交货值

                              (万元)

1    佛山水泵厂有限公司       2724

2    宁波爱发科真空技术有限公司  367

3    广东真空设备厂股份有限公司  290

4    兰州真空设备有限责任公司 236

5    上海曙光机械制造厂       165

6    浙江真空设备集团有限公司 150

7    国投南光有限公司          144

8    淄博真空设备厂有限公司

9    上海真空泵厂             81

10 深圳亨达莱真空技术工程公司  45

附表１  １９９６--２０００年机械工业系统真空获得及应用设备行业经济发展状况

年份  企业数  工业总产值(不变价)  工业增加值  产品销售收入  利润总额

            (万元)             (万元)    (万元)       (万元)

1996  15    38779             15863    33208       1129

1997  16    35283             9652       25954       53

1998  15    34643             6793       20497       -2507

1999  15    36159             7299       21685       208

2000  16    40636             8009       25336       29