压力传感器技术参考（一）

hupp7758

本人从业传感器近10年，对压力传感器有一些经验总结，特奉献给大家，不对的地方请批评指正

压力传感器原理和特性

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1.压阻式：通常是通过压力使弹性元件变形，弹性元件的变形拉伸或挤压附着在弹性元件上的电阻使其阻值变化，从而感知压力。

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2.电容式：电容式有2个极板构成一个电容，通过压力极板变形或产生微量的位移，从而改变了2个极板直接的距离使电容值发生变化，从而感知压力

3.压电式：通常是使用石英或其他有压电感应的材料，当此种材料受到压力时会产生电荷，电荷与压力有基本线性的关系。

下次在详细讨论三种原理的特点。希望大家多顶！

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hupp7758

压阻式传感器的特点

市面上压阻式传感器通常有应变式,扩散硅,陶瓷压阻3种.

应变式都是基于金属材料的弹性元件，压敏电阻通过不同的工艺与金属弹性材料结合并绝缘，依据工艺的不同分为应变片类，溅射薄膜类，微溶式。 应变片是一种很早期的工艺，利用特殊的胶将压敏电阻与弹性元件粘结，优点是加工简单，成本低廉，但是产品可靠性，稳定性不好 溅射薄膜是近来发展的一种新工艺，其原理是将弹性元件先镀上一层极薄的玻璃镀层，通过离子溅射在薄膜上形成压敏电阻，其稳定性和耐温性能很好，但是需要极其昂贵的设备＆和复杂工艺流程 ' V) r( m* `9 M1 Q2 \微溶式是 MSI的一种新工艺，他将硅压敏电阻通过玻璃烧结在金属弹性元件上，耐温性和稳定性比溅射膜的要差一些，优于粘结式的应变片。 + w( \ ?/ K8 G- {所有的应变式原理的均有一个特点，即量程一般最低只能到5bar。

陶瓷压阻：从原理来说，陶瓷压阻是应变式的一个特例，即应变材料是陶瓷而非金属。它也是采用烧结的办法将压敏电阻与陶瓷弹性元件结合，成本低，可靠性也好，但是抗冲击压力一般，而且封装需要有比较高的工艺。

扩散硅：综合性能是压阻式传感器里面很好的一种，其弹性元件是硅片，通过离子注入法，使硅片里面形成压敏电阻，其压敏电阻就是硅片本身的一部分，稳定性优良，灵敏度高。 通常最小量程可以做到1KPa以内，由于强度不够，超过40MPa很少使用扩散硅。扩散硅测量液体介质需要充硅油，封装不锈钢膜片进行介质隔离，因此测量液体介质的扩散硅传感器通常成本较高，而且不同厂家的隔离膜传感器品质也有很大区别。

综述：通常压阻式传感器体积小巧，过载压力一般小于3倍额定量程，成本不高，做成变送器时电路较简单。

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潘宇

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pyf2514

顶一下！

真是好冬冬，收藏了。

谢了！

hupp7758

电容式传感器的特点：

相对与压阻式传感器，其过载压力都很大，一般可以达到测量压力的数十倍

电容式传感器体积通常都比压阻式大

电容式传感器由于信号为电容值的变化，以其生产变送器时电路更加复杂。

压电式传感器的 特点：

压电式传感器通常响应速度可以达到几十KHZ，压阻式的通常小于 1KHZ，电容式的更小。

压电式输出的信号为电荷量的多少，因此很难正确的放大或读取其信号。

压电式通常为石英或者陶瓷结构，耐温性能很好，可以测量的压力很大

压电式的一般应用于动态压力测试，例如炮膛压力，气缸爆发压力，是一种实验性的测量，通常要使用昂贵的电荷放大器。

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储存温度：-40~+90℃ 5 m% d) F$ J# ` # B/ K1 C: K1 E# B

输出信号：4~20mA（两线制）、 0.5-4.5VDC（三线制） ' C7 g% O0 A9 g3 @3 U( K , c% L0 N, u) h& U9 `

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输入电压：9~36VDC（两线制）,+5V（三线制） ! g4 h8 ^( g! O. S* `" G8 E6 u

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压力类型：表压，绝压、真空 " Y$ e+ v7 ]2 a+ c . {8 C; ]/ z. T2 o* K

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[此贴子已经被作者于2005-11-1 11:33:20编辑过]

willhill

不错

abbbba

很好 不错

goto123

好，很详细，希望再来一个

hjhcompressor

真是不错！

谢谢啦！

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人间传奇

温漂怎么样?

reyajj

顶一下[em09]

hjp2406

好，辛苦了