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1、抽气量:无油涡旋真空泵由于内部结构问题,抽气量较小,只适用于小抽气量的工艺中;干式螺杆真空泵型号齐全,可适用大抽气量工艺中,配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。# x, S2 m i+ |
2、真空度:干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高,最高极限真空均可达到1-2Pa;无油往复真空泵为粗真空设备,极限真空度低,需要搭配罗茨等其他真空泵提高极限真空。
- U1 F0 k( u: j( ?! a* E5 G& ?: k U" G9 t 3、稳定性:干式螺杆真空泵性能稳定,噪音低,故障率低;无油往复真空泵结构简单,噪音较高,需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂,转子与轴不为一体,出现故障需全部重新拆解装配,反复装配从而降低产品性能及稳定性。
% I/ a6 V% @! R 4、特殊工况处理:由于化工、制药、半导体行业等相关工艺气中会不同程度含有易燃、易爆以及腐蚀性气体,所以干式真空泵需要特殊处理。干式螺杆真空泵内部结构简单,两根转子、泵腔均可做防腐处理,常见的有镍磷涂层和特氟龙涂层,珂勒曦干式螺杆真空泵采用则是特殊的多层镀镍和QPQ纳米材料镀层,有效防止盐酸等高腐蚀性介质对设备的侵蚀。爪式真空泵很难做防腐处理,各级隔板之间几乎无法做表面处理,转子表面的防腐涂层也容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体,不能抽取易燃、易爆及具有腐蚀性的气体。0 a1 G9 C4 v6 ]3 ` W4 |, V
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