真空泵的工作原理

snow千寻

真空泵的工作原理
一种是气体传输泵一种是气体捕集泵。
1）气体传输泵是一种能使气体不断吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。
气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减少了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。
- O# M' k% m! T) A气体传输泵又分为变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气过程的一种真空泵气体在排出前被压缩。
. G1 [% q! ~7 g0 p7 c, p# ^往复真空泵又称为活塞式真空泵是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入压缩并排出。
" a) q) K% f9 Z0 V, j! U4 _旋转真空泵是利用泵腔内活塞在旋转运动将气体吸入压缩并排出。
油封式真空泵它是利用油类密封个运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。
旋转片真空泵转子以一定的偏心距装在泵壳内与泵壳内表面的固定面接近，在转子槽内装有两个旋片
& b% c0 h& g+ d，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内避始终接触，此旋片随转子将泵腔分为几个可变容积。
润阀式真空泵在偏心转子外部装有一个滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。
5 b; r1 Y- b, X; w) X1 o, H定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转式，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。
) F* i7 h( w( `# Z, y" D余摆线式真空泵在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
) Q7 }! g; ?6 u. x4 e多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
2）动量传输泵
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
* e5 e8 g* @# K1 K* i5 J分子真空泵它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。
喷射真空泵：它是利用文丘里效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。
8 M! I- M5 V' T9 x  V扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。
# i- Z. m" F3 }% c扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。
3 @6 v6 p+ a  R% R; b! W1 A6 [离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵
5 h% r" c0 O/ w8 S' y二）气体捕集泵这是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。
吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。.jnxrzl点com

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