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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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tts_moon

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1楼
发表于 2013-9-22 13:14 |只看该作者 |倒序浏览
4.1温区尺寸：Φ200×H400( V; O, I# r3 `( }7 @, {! A6 D7 \
4.2沉积室最高使用温度：1500℃1 ~0 s. f; Q! S. M* `
4.3捕集室最高使用温度：2400℃
) F2 n, S% f5 c8 _- O6 U$ u  E7 N4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa( X4 h- j* |) Y* n
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min6 A7 w# \+ C1 J
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
" V' t( m8 t# D' \* h$ [6 e! Z  U4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃; B3 |: w/ a5 B! x3 c; C
4.8控温精度：≤±2℃
' H/ v/ J. h1 E4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源9 R/ V3 H5 |) q! p* \! s
4.10沉积室电源最大功率：30kVA& c% V3 ?3 c/ \, |& z* j! r3 I
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V. o# p; b+ C) S5 v3 A6 q% N
4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
2 ]3 F# \& c. P% Z% q. s% i4.13捕集室中频电源频率：2500Hz) e; N& f) V7 @% f' |9 u1 J
4.14捕集室中频电源功率：50Kw
% a9 ]5 w) G- u; p  B4.15捕集室电源输入电压：380V
, g$ j. S' i' ]' E( G- v1 D' v进水温度：5~30℃" f$ j$ `% ?2 H/ U( f  K( _" i6 z* r
出水温度：≤55℃
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