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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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tts_moon

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1楼
发表于 2013-9-22 13:14 |只看该作者 |倒序浏览
4.1温区尺寸：Φ200×H400+ ^* R" Q0 V2 c# c7 _
4.2沉积室最高使用温度：1500℃
, x7 u& t0 }* t. K4.3捕集室最高使用温度：2400℃' l* i% C! K9 F: e, f, D' s
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa0 P9 o: [+ V: K$ a
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min" {. S' U& H2 w; f& n6 s# a
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
  J0 |) [6 S2 F; e: z- W: R, j4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
1 z' I5 {% n3 e. t; b# S. Y4.8控温精度：≤±2℃" ]1 ]- Y+ S& J9 d. P
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源  y. O3 K% e# X1 W7 p
4.10沉积室电源最大功率：30kVA& O2 P7 ^( F7 g
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
7 o  a( a% p2 O5 K- j* I* c. I4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V2 ?8 i. Y- |) {% X' B' f1 K1 {
4.13捕集室中频电源频率：2500Hz' [. V; ?4 q% H8 J9 e0 P/ c
4.14捕集室中频电源功率：50Kw
- L+ i& e! K+ d: x4.15捕集室电源输入电压：380V! l( g) A) B; Q* @% u2 r. R8 l
进水温度：5~30℃
0 [8 d- o$ [$ h" t0 R3 U出水温度：≤55℃
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