怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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4.1温区尺寸：Φ200×H400
5 B; D0 O0 @. t% _4.2沉积室最高使用温度：1500℃
' N3 m2 }4 T9 \- n  t5 A& m4.3捕集室最高使用温度：2400℃
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
' {1 p* A8 y1 _* K8 g* J5 h6 v& @' j4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
& ?3 b( l& E8 F; N$ t9 C) @4.8控温精度：≤±2℃
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
1 g  D: G" q3 T4.10沉积室电源最大功率：30kVA
3 ?. U4 D3 S# C+ s' x9 e+ A4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
4 m- {9 W& \  w  s4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
4.14捕集室中频电源功率：50Kw
( P0 I5 H( \# f! [  R: I! V  u4.15捕集室电源输入电压：380V
- @1 Z. X$ ^, `4 m8 ^进水温度：5~30℃
出水温度：≤55℃