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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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tts_moon

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1楼
发表于 2013-9-22 13:14 |只看该作者 |倒序浏览
4.1温区尺寸：Φ200×H400" F8 s/ Q& F) J' i7 g
4.2沉积室最高使用温度：1500℃3 S; V( K9 Z( S" c6 _) G
4.3捕集室最高使用温度：2400℃& ~- S1 Y) p% z( e
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
- x6 F& I7 b; i4 ?4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
& |) S* D3 f0 [4 D% R% c7 L4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min' v+ L* A9 q' C" f
4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃- B* k" T! ^+ j- n) D; p
4.8控温精度：≤±2℃: ^0 w9 d$ L; A  ?* o5 V" b1 _; b
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源/ v& S* j* Z' O# u. B
4.10沉积室电源最大功率：30kVA
1 }$ R+ D6 X, F+ d9 }: z4 G; _4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V  C+ l7 f% {  H- `6 e( E5 c0 C2 R1 P
4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V5 M- T' f0 H* Z& B3 g2 j4 T
4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
$ o! ], k6 @) B1 r9 w" q4.14捕集室中频电源功率：50Kw* C* F. m$ q* G) F5 I/ w- N; n
4.15捕集室电源输入电压：380V6 U+ _- \% X1 M2 `
进水温度：5~30℃
! N9 s% H! y& q出水温度：≤55℃
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