怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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4.1温区尺寸：Φ200×H400
4.2沉积室最高使用温度：1500℃
$ p  d) e* b5 P& U6 j3 c4.3捕集室最高使用温度：2400℃
: Y1 o7 z/ M2 `5 u: w0 s4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
5 h6 C5 K- b" u9 G! \4 I4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
7 d6 E, c- R" @: R$ x5 s4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
' v# F% t0 I1 }: a0 K9 m/ }6 f4.8控温精度：≤±2℃
' @% j# w4 o1 Y4 h5 H" d4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
$ R3 ?. C0 j$ D7 H6 q4.10沉积室电源最大功率：30kVA
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
3 v9 q1 {) Q* o: @5 S. y% R, O4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
6 r7 e4 G% S8 Q, x2 ^' ?4.14捕集室中频电源功率：50Kw
4 d. S- g6 {6 S$ {6 C6 ~4.15捕集室电源输入电压：380V
! y: e; \5 N' w: w# d进水温度：5~30℃
4 O0 C% _3 R' E# o: j7 j出水温度：≤55℃