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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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tts_moon

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1楼
发表于 2013-9-22 13:14 |只看该作者 |倒序浏览
4.1温区尺寸：Φ200×H4003 C8 j" D2 M/ V( Q4 K
4.2沉积室最高使用温度：1500℃6 c# l9 P% D2 V/ j  H6 |" C+ N
4.3捕集室最高使用温度：2400℃1 O8 G+ O2 Z& e: Q1 W; q
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa9 q0 |; r- x/ |
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min& I2 m) _) V  v
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min' r* D2 e, F; a1 _4 Q# M, [
4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃/ L8 q; C, J6 R/ G1 |% I1 B& q
4.8控温精度：≤±2℃7 M, W$ p( f5 @. R8 [0 @/ ~, d
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源$ u+ e# n' |! Z5 ^  M  T' b
4.10沉积室电源最大功率：30kVA
, \9 W& y9 o5 J9 \1 w9 Z4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
. o% r. f' K$ v2 X# i4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V1 ]/ p3 z% e( E0 U3 X
4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
. c; H8 i( K" S$ @: [; {$ g& s  n4.14捕集室中频电源功率：50Kw
) R' V) o: Z6 U, d& u* O, j4.15捕集室电源输入电压：380V  |, A4 S, z! b4 [. S5 i/ |
进水温度：5~30℃7 b1 L/ ]( P  H' n/ h* J$ v- p- n
出水温度：≤55℃
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