设为首页收藏本站
欢迎加入QQ交流群：
压缩机行业论坛 压缩机行业论坛
空压机行业论坛 空压机行业论坛

中国压缩机网行业论坛

搜索
中国压缩机网行业论坛»论坛首页 › 技术交流 › 『 制冷技术交流区 』 › 怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有 ...
返回列表 发新帖
查看: 792|回复: 0
打印 上一主题 下一主题

怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

[复制链接]
tts_moon

38

主题

0

好友

808

积分

高中生

Rank: 4

威望
2 点
经验
563 点
积分
808
帖子
61
跳转到指定楼层
1楼
发表于 2013-9-22 13:14 |只看该作者 |倒序浏览
4.1温区尺寸：Φ200×H400+ L2 `& X- ^; n
4.2沉积室最高使用温度：1500℃
2 o. r, {& Z4 o! @. g: W4.3捕集室最高使用温度：2400℃
/ n5 h. S9 k2 A  K( k4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa& ~/ ~1 L4 e! s9 e, S% E
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min! {& x4 T5 r2 j5 L4 I' t2 E
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min5 O1 o7 q3 v" b. `" l" I
4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃3 P5 i. i' r1 [
4.8控温精度：≤±2℃* h( u5 _. o0 Z& X. i
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
: ^1 x+ i3 |# f# u+ Y5 R9 s4.10沉积室电源最大功率：30kVA
# N) x4 W$ q! ~* h  I" B4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V" [7 D8 c- @6 k, m4 I
4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V5 Q1 J3 H' D) |- K" n1 a5 O
4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
# K# e) a9 j1 Z) i$ d4 E4.14捕集室中频电源功率：50Kw+ n4 s8 \8 r7 W% z
4.15捕集室电源输入电压：380V
- O) S' R# R' R; U# q4 t进水温度：5~30℃
/ f) Z. U% d; X8 a) i$ C- y% f出水温度：≤55℃
回复

使用道具 举报

返回列表 发新帖
高级模式
B Color Image Link Quote Code Smilies
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

    推荐主题
      热门主题

        压缩机生态圈

        压缩机网 ( 陕ICP备12001613号-6 | 网监备案号:XA11394S ) | 联系我们 | WAP

        © 2001-2026 压缩机论坛 中国通用机械工业协会 | 西安交通大学压缩机研究所

        压缩机网 ComVac 展会 《压缩机》杂志 制冷网 康沃真空网 压缩机商城

        GMT+8, 2026-5-10 14:13 , Processed in 0.169994 second(s), 24 queries .

        回顶部 安全联盟站长平台