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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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tts_moon

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1楼
发表于 2013-9-22 13:14 |只看该作者 |倒序浏览
4.1温区尺寸：Φ200×H400
$ `5 z  j+ e! s5 R7 z0 h1 _4.2沉积室最高使用温度：1500℃
2 X4 T+ O4 T& _7 J2 a; s: p' Q4.3捕集室最高使用温度：2400℃% E' `! d1 O+ ?; z- i& y
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa5 k$ t* p& ?6 ]  K' ^5 j
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
! p+ x. U2 {6 I4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min( j9 b; j' K% b3 ^( h4 K* G+ ]
4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃5 ?# |7 {: ]+ A3 i/ L) Z# `$ n
4.8控温精度：≤±2℃1 H( W6 V7 g4 {' T3 q" p& r: i
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
5 @& T0 n9 b  t9 i# w  u& v7 n4.10沉积室电源最大功率：30kVA
9 u7 g1 m& y" C3 m4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
9 G) i. O  n4 W, S: x$ Z" W4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V: I0 p- [4 ^2 V- H# N
4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
+ e7 V9 F7 q4 U" _% s) ?: J4 K4.14捕集室中频电源功率：50Kw7 L' ]( G: a( _  W
4.15捕集室电源输入电压：380V2 y2 U- E0 a( K
进水温度：5~30℃6 S0 N8 N/ z& C7 J. \* d! l
出水温度：≤55℃
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