怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

tts_moon

4.1温区尺寸：Φ200×H400
4 w' v. d) i: q/ U( ?- Y& c; K- j2 P4.2沉积室最高使用温度：1500℃
4.3捕集室最高使用温度：2400℃
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
* O7 o5 ~/ e5 s  Z& L$ X. K. Y4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
/ M& P$ j" c$ ]1 |4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
! Q- L% r8 ]" v; y, G3 j: K$ r4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
4.8控温精度：≤±2℃
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
4.10沉积室电源最大功率：30kVA
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
8 W# i& O, H* C* i' P- n% p4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
$ W5 d( c2 ~7 j2 \& D7 \+ h4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
4.14捕集室中频电源功率：50Kw
4.15捕集室电源输入电压：380V
+ [4 k: u  I7 V7 r6 {进水温度：5~30℃
5 ?5 l4 y# k& m: U# F; q4 L出水温度：≤55℃