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洁净室基础知识 ' B/ Q7 j( a! {! C2 M9 b' S( g
洁净室定义 & ]( p( W% J- |* J3 b; A. E6 s7 ?
洁净室又叫无尘室或清净室,为将一定空间范围之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。 - t0 X+ B. A# \( `" d, R& K
洁净室必须具备以下条件:空气中飘游微尘离子之去除;微尘粒子产生之防止;温度和湿度之控制;压力之调节;有害气体之排除;结构与隔间之气密性良好;静电之防制;电磁干扰之预防;安全因素之考虑;节能之考量。 2 H" V# A- _/ H) u9 u
洁净室历史演进 2 s& Z: S( c; E
二次世界大战时美国空军发现大部分飞机零件故障之原因,乃因粉屑、灰尘等之污染所引起,因此选择浮游灰尘较少之场所进行加工及组合以减小故障率,此为洁净室观念之起源。1958年美国为了开始太空科学之研究,开始做洁净室之研究,并于1961年完成有关美国空军之洁净室规格。
1 B, f6 ]: I- U. Q" D6 j微尘粒子分布与控制
7 P7 V/ u$ e, w空气中之粒子有如下列几种:
1 N% i' A7 t g$ o/ e1.微粒子,10μm以下不太容易沉降的粒子; . m% E' T" @2 u& ]; {/ F. {$ l5 e) o
2.极微粒子,1μm以下几乎不可能沉降的粒子;
/ f7 y$ p' I: [0 l8 o( e I+ g3.生物粒子,有生命的粒子如花粉、孢子、细菌等;
8 r2 _3 M& u, X: _) p4.纤维状粒子,长度为宽度10倍以上的粒子;
; P% _0 r6 ]5 T7 f7 F5.浮游微粒子,浮游于气体或流体中的生物粒子; 0 _) B8 ^& V7 q/ p7 {2 G
6.离子粒子,具有正负电荷之分子或微粒子。
1 w9 c& @% L! x4 f粒子的性质可将其归纳为下列几点:
, `& ]3 S, ?' `6 ~- g6 c% ?' M/ ^7 g1.沉降视粒径大小而依牛顿(约1000μm以上的粒子)、艾伦(50~1000μm之间的粒子)、司托克斯(5~50μm之间的粒子)、卡林克母(0.07~5.00μm之间的粒子)、布朗(0.07μm以下的粒子)法则而运动,司托克斯定律为这些粒子的沉降速度随粒子大小的平方而变化。
' d! @# Z( K. B+ D6 z T3 l3 }2.微小粒子依布朗运动而扩散;
; ~4 L3 j2 p5 M3.生物粒子,有生命的粒子如花粉、孢子、细菌等;
( V$ }8 V5 h8 `4.纤维状粒子,长度为宽度10倍以上的粒子;
z1 o+ F0 V8 e& ~7 a& r& g( q" _5.浮游微粒子,浮游于气体或流体中的生物粒子;
7 D: m0 `- Q+ Y3 r& e" ]6.离子粒子,具有正负电荷之分子或微粒子
1 Y: j8 H5 _- K' W, B% X微粒子性质归纳为:
$ a+ j/ _/ h3 w9 C4 B* D* Q1.沉降视粒径大小而依牛顿、司托克斯等运动; 5 P e, I0 p1 a' U" @; b2 E% h! ]
2.微小粒子依布朗运动而扩散,且相互间有凝集效果;
! Q0 R; U& R7 A* h, ]3.有光散乱效果;
2 g0 b0 P+ P' ~( I- Q4.因爆炸、破碎、摩擦、放射线照射或放电而容易带电; , S: N& i1 u4 s2 Z
5.粒子会向低温方向移动; 0 l! ^( a8 F, e3 O( y: [: N
6.水滴附着则重力沉降较容易。 1 Q" _; X% F+ g: `& K
洁净室适用范围
- s4 u, R- C* c$ K洁净室之使用,大致可分为二类。 % o/ L# X6 t! N. P1 e6 Q- c
工业用洁净室简称I.C.R,以半导体、电子工业、光学机器、精密机械、精致涂装、新素材及航空等为范围,主要控制尘埃粒子。优点有三:1.提高品质及良率;2.节省产品工时及成本;3.降低维修费用。该类洁净室一般具有正压式洁净环境。 3 K' r5 ~# x$ U. c$ x: r
生化及医药用洁净室简称B.C.R,以制药、医学、遗传基因产业、生命科学、医疗设施、食品及生物实验室等范围,主要控制生物粒子及尘埃。优点有三:1.防止细菌感染;2.提高食品、药物品质;3.延长食品及药物之储存期限。有害生物实验室必须采用负压式洁净室。 3 ]9 E: R e8 C, `! g
洁净室分类
7 Q4 e' M3 Q$ `- O' p洁净室依空气流动方式和使用环境、场所或目的之不同,而作如下之分类:
8 K1 X" s& H' Q1 u9 k4 @- t1.乱流式,空气有空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而成不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净等级1000~100000级,其优点是构造简单、系统建造成本低,洁净室之扩充比较容易,特殊情况下可提高洁净室等级;其缺点是因乱流而不易排出空间漂浮之粒子,停转后再启动需耗相当长时间才能满足洁净需求。 4 ~9 F2 ?! n" u& x
2.层流式,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由两侧隔墙板或高架地板回风。气流成一均匀之直线形。此型式适用于洁净等级1~100级,分水平层流式和垂直层流式两种。水平式空气自过滤器单方向吹出,又对面墙壁之回风系统回风,尘埃随风排到室外,一般下流侧污染较重,其优点是构造简单,运转短时间后即可稳定;其缺点是建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。垂直式空气完全以HEPA过滤器覆盖的天花上往下吹,其优点是管理容易,运转短时间后即可稳定,不易为作业人员影响;其缺点是够在费用较高,弹性利用空间较困难,吊架空间大,维修更换过滤器较麻烦。
$ ~: l N* r; a6 J. |- b& ]; J3.复合式,将乱流式及层流式予以复合或拼用,可提供局部超洁净之空气,有三种型式:洁净隧道、洁净管道和拼装局部洁净室。 ) v+ U5 W, R9 @4 D# G1 V0 m
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