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洁净室基础知识 / f) \% P5 I, J9 F8 i/ I% c
洁净室定义 / y0 `5 K) E& n1 n
洁净室又叫无尘室或清净室,为将一定空间范围之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
! ^1 y7 n9 Y5 A' {' ^洁净室必须具备以下条件:空气中飘游微尘离子之去除;微尘粒子产生之防止;温度和湿度之控制;压力之调节;有害气体之排除;结构与隔间之气密性良好;静电之防制;电磁干扰之预防;安全因素之考虑;节能之考量。
/ p" {0 M: k3 h) h6 y洁净室历史演进 8 N+ u$ h! Q% B1 _, H
二次世界大战时美国空军发现大部分飞机零件故障之原因,乃因粉屑、灰尘等之污染所引起,因此选择浮游灰尘较少之场所进行加工及组合以减小故障率,此为洁净室观念之起源。1958年美国为了开始太空科学之研究,开始做洁净室之研究,并于1961年完成有关美国空军之洁净室规格。 2 \. O5 K$ S. l5 m" o) L
微尘粒子分布与控制
, Q3 J" Q2 d, z3 p7 r空气中之粒子有如下列几种:
- ?$ z, v, j0 c: e+ f3 y2 t( ?1.微粒子,10μm以下不太容易沉降的粒子; 3 H; w& d Q5 ^# x5 i+ @
2.极微粒子,1μm以下几乎不可能沉降的粒子;
& J7 H4 x8 D7 ]. I1 i C3 e1 X3.生物粒子,有生命的粒子如花粉、孢子、细菌等; ' y" e& D9 \& o; `3 `: `
4.纤维状粒子,长度为宽度10倍以上的粒子;
2 W+ T; [. w1 q+ O p4 l5.浮游微粒子,浮游于气体或流体中的生物粒子; ; f7 U& N0 _8 W( s# p) g2 I2 l6 C9 O
6.离子粒子,具有正负电荷之分子或微粒子。
9 x) U$ H6 |- H* ?' m! O粒子的性质可将其归纳为下列几点:
0 D3 \% @$ S/ ~5 B0 ?1.沉降视粒径大小而依牛顿(约1000μm以上的粒子)、艾伦(50~1000μm之间的粒子)、司托克斯(5~50μm之间的粒子)、卡林克母(0.07~5.00μm之间的粒子)、布朗(0.07μm以下的粒子)法则而运动,司托克斯定律为这些粒子的沉降速度随粒子大小的平方而变化。 / D6 c3 }2 W6 C
2.微小粒子依布朗运动而扩散;
B) L5 q* q2 ~6 J5 I3.生物粒子,有生命的粒子如花粉、孢子、细菌等;
& S! v6 Z* i# ?& |( d- L4.纤维状粒子,长度为宽度10倍以上的粒子;
& m; z$ G6 W2 V5 H7 e5.浮游微粒子,浮游于气体或流体中的生物粒子; 8 P- D m8 Q9 ~. |( ]# |
6.离子粒子,具有正负电荷之分子或微粒子
1 f4 X' S3 X( r1 [3 _: W微粒子性质归纳为: 0 z+ ~% n6 Z/ g5 V. K3 e4 ]5 n5 u
1.沉降视粒径大小而依牛顿、司托克斯等运动; ' m; @5 v ?" T5 c
2.微小粒子依布朗运动而扩散,且相互间有凝集效果; 7 W2 j; ]; q; h) I/ [
3.有光散乱效果;
% t$ P/ E3 `0 J: u& h9 ]) {9 z4.因爆炸、破碎、摩擦、放射线照射或放电而容易带电; 3 i: a, R4 U* e1 `2 B7 C! x3 C
5.粒子会向低温方向移动;
9 E' N! }5 T7 ^- P/ i6.水滴附着则重力沉降较容易。
. ]& F2 W, b! n+ p1 D洁净室适用范围
2 ]4 e. @' r/ e: _洁净室之使用,大致可分为二类。
! [5 r/ }) K1 |8 E! D1 F2 @工业用洁净室简称I.C.R,以半导体、电子工业、光学机器、精密机械、精致涂装、新素材及航空等为范围,主要控制尘埃粒子。优点有三:1.提高品质及良率;2.节省产品工时及成本;3.降低维修费用。该类洁净室一般具有正压式洁净环境。 ) E: ]" {4 Y6 ]# b' b
生化及医药用洁净室简称B.C.R,以制药、医学、遗传基因产业、生命科学、医疗设施、食品及生物实验室等范围,主要控制生物粒子及尘埃。优点有三:1.防止细菌感染;2.提高食品、药物品质;3.延长食品及药物之储存期限。有害生物实验室必须采用负压式洁净室。
" `# ~3 q! W, b洁净室分类
- I9 S, X* T- F# v洁净室依空气流动方式和使用环境、场所或目的之不同,而作如下之分类: . U6 c% p" H, A+ [+ G- V, K9 ~
1.乱流式,空气有空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而成不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净等级1000~100000级,其优点是构造简单、系统建造成本低,洁净室之扩充比较容易,特殊情况下可提高洁净室等级;其缺点是因乱流而不易排出空间漂浮之粒子,停转后再启动需耗相当长时间才能满足洁净需求。 ) j) W. Q( r/ }: v i+ [
2.层流式,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由两侧隔墙板或高架地板回风。气流成一均匀之直线形。此型式适用于洁净等级1~100级,分水平层流式和垂直层流式两种。水平式空气自过滤器单方向吹出,又对面墙壁之回风系统回风,尘埃随风排到室外,一般下流侧污染较重,其优点是构造简单,运转短时间后即可稳定;其缺点是建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。垂直式空气完全以HEPA过滤器覆盖的天花上往下吹,其优点是管理容易,运转短时间后即可稳定,不易为作业人员影响;其缺点是够在费用较高,弹性利用空间较困难,吊架空间大,维修更换过滤器较麻烦。 6 V9 j+ ~% `# P! G' b
3.复合式,将乱流式及层流式予以复合或拼用,可提供局部超洁净之空气,有三种型式:洁净隧道、洁净管道和拼装局部洁净室。
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