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4.1温区尺寸：Φ200×H400+ O& T# Z9 ]8 v3 R/ c
4.2沉积室最高使用温度：1500℃
4 v3 g* B' x4 ^5 ~( i+ E7 p4.3捕集室最高使用温度：2400℃- D# F/ P+ G3 Z; C. w2 w: m% R9 F
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa e) p4 W6 ]* F
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
0 p/ w5 N; `! ]9 Q4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min" X$ K, {0 h3 q( h6 V- F
4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃+ k! P( ~& f7 S+ O3 e
4.8控温精度：≤±2℃8 _5 z4 G- ~" v/ b& K( [
4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
' }1 F1 D7 r* V$ s: Y4.10沉积室电源最大功率：30kVA5 t: X. I" l* s! \8 x# \
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V; u1 O) B6 P6 ^# Q2 _) |
4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
, {5 g) C: R4 _6 F, h4.13捕集室中频电源频率：2500Hz! ]; D5 x7 Y7 m# ^
4.14捕集室中频电源功率：50Kw
1 s8 }, o- G$ |' {0 i6 e9 |4.15捕集室电源输入电压：380V
! l: K1 g) Q7 h2 O进水温度：5~30℃
" Y5 g! V! z5 X! h1 Q7 {出水温度：≤55℃ |
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发表于 2013-9-22 13:14
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