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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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tts_moon

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1楼
发表于 2013-9-22 13:14 |只看该作者 |倒序浏览
4.1温区尺寸：Φ200×H400/ g1 Z. V& L0 e' q
4.2沉积室最高使用温度：1500℃  u' c2 ^' M! ]# |6 O8 E
4.3捕集室最高使用温度：2400℃
* |8 \; m: A+ f; s4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
# ]- I3 T2 F, d6 G! E4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min( `7 O/ m8 s5 ~* O& u3 M
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min7 ?! d4 h4 ~; ?5 X4 `
4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃4 g0 r2 _9 U4 a" ~4 ]+ U
4.8控温精度：≤±2℃
  K4 z4 v5 Y; q! o4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源' a3 h( E- A2 D1 D, w
4.10沉积室电源最大功率：30kVA8 y( B& a8 Z4 P) U
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V2 K: b4 x$ K2 s$ `9 E6 C
4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
7 K" H3 z4 G0 E) Y, }) I9 E4 u4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
) ^( r3 K# {0 X+ v4.14捕集室中频电源功率：50Kw; j" z( P8 k8 E+ Q9 b) }
4.15捕集室电源输入电压：380V/ b  q3 y) P1 o! @  Z  L0 h
进水温度：5~30℃
' C) ^9 g3 g( l# U+ _出水温度：≤55℃
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