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4.1温区尺寸：Φ200×H400
; F, T* c G* c5 X, R4.2沉积室最高使用温度：1500℃
D& n3 B0 ^: J- w' J X4.3捕集室最高使用温度：2400℃5 s) H) _# o4 u/ v
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
! F) {0 z6 X. M! t9 E/ {) x4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min- Q X# W9 \- k: q' E: \. u3 D
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
; [) m! C. H1 b9 m4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃1 f$ k% F6 `! X; E: k4 D
4.8控温精度：≤±2℃
8 ]5 ]% {/ O' r. o \9 l: ^: Y* _4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源0 ], ~$ g/ f- R9 Y$ u/ I
4.10沉积室电源最大功率：30kVA9 M2 _8 k4 e) B3 S$ c
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
' @& e3 z7 j' e1 f4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
) z% J; ?; p* P; ~, Y4.13捕集室中频电源频率：2500Hz' s6 n) P+ @- H, X, ?, M
4.14捕集室中频电源功率：50Kw) d* J% a% P2 l. [5 D( e: G
4.15捕集室电源输入电压：380V
; z8 R9 v) S# S进水温度：5~30℃2 y6 A$ M; _! e! w1 c8 o" y
出水温度：≤55℃ |
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发表于 2013-9-22 13:14
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