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洁净室基础知识 ; G$ p8 p( \/ ^0 X# A
洁净室定义 - a- |% o( A/ n; X: t9 |5 R$ q8 B
洁净室又叫无尘室或清净室,为将一定空间范围之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
* a! b+ D0 `5 i洁净室必须具备以下条件:空气中飘游微尘离子之去除;微尘粒子产生之防止;温度和湿度之控制;压力之调节;有害气体之排除;结构与隔间之气密性良好;静电之防制;电磁干扰之预防;安全因素之考虑;节能之考量。 , }! k, M2 r! l4 Y# a; Y7 ~
洁净室历史演进 : ?7 L! r% N P3 q
二次世界大战时美国空军发现大部分飞机零件故障之原因,乃因粉屑、灰尘等之污染所引起,因此选择浮游灰尘较少之场所进行加工及组合以减小故障率,此为洁净室观念之起源。1958年美国为了开始太空科学之研究,开始做洁净室之研究,并于1961年完成有关美国空军之洁净室规格。
; D" c6 Y) H" u微尘粒子分布与控制 % x! t, x. S% B p
空气中之粒子有如下列几种: 0 s7 |1 Z+ H+ D, G$ _
1.微粒子,10μm以下不太容易沉降的粒子;
: _2 H! q* h5 C1 e! h, q2.极微粒子,1μm以下几乎不可能沉降的粒子; 2 n! O, o' A j7 M7 o8 q1 |* I9 n
3.生物粒子,有生命的粒子如花粉、孢子、细菌等;
# _9 O! o+ j. A) |- X3 K4.纤维状粒子,长度为宽度10倍以上的粒子;
5 v9 S" {9 _% Q; ~$ G Z6 ]5.浮游微粒子,浮游于气体或流体中的生物粒子; : O8 k# [1 {, O/ [* X' r
6.离子粒子,具有正负电荷之分子或微粒子。
$ T; G( U3 L& W/ x& H) z0 m粒子的性质可将其归纳为下列几点: " n& b# y2 q, Q6 d: N
1.沉降视粒径大小而依牛顿(约1000μm以上的粒子)、艾伦(50~1000μm之间的粒子)、司托克斯(5~50μm之间的粒子)、卡林克母(0.07~5.00μm之间的粒子)、布朗(0.07μm以下的粒子)法则而运动,司托克斯定律为这些粒子的沉降速度随粒子大小的平方而变化。 6 l# h7 F1 N( d7 i$ ~! ?, M
2.微小粒子依布朗运动而扩散; # I& i: U* O+ ^# J6 g+ l
3.生物粒子,有生命的粒子如花粉、孢子、细菌等; $ M" p3 e3 @4 t
4.纤维状粒子,长度为宽度10倍以上的粒子;
5 e7 R3 ]( a! G0 A8 \ {5.浮游微粒子,浮游于气体或流体中的生物粒子; & O( H# {6 Y- \; i
6.离子粒子,具有正负电荷之分子或微粒子
7 m {: D- v3 _ ]0 }) e* f, J微粒子性质归纳为: * G8 _* b) b. [" F" O% b
1.沉降视粒径大小而依牛顿、司托克斯等运动; " l {0 r' j. r6 {- T4 c. J. o
2.微小粒子依布朗运动而扩散,且相互间有凝集效果; ) a* f; X: C3 U* O
3.有光散乱效果;
4 o3 S8 g' F8 _4.因爆炸、破碎、摩擦、放射线照射或放电而容易带电;
# I2 ?5 x" R6 i8 s5.粒子会向低温方向移动;
: E) l. Z v1 M+ i6.水滴附着则重力沉降较容易。
2 t$ [$ D. S" r; _* a6 R洁净室适用范围
, J$ o* l) b6 \5 U' ?9 W洁净室之使用,大致可分为二类。 1 g5 W$ K X$ o+ O0 |. Z' f
工业用洁净室简称I.C.R,以半导体、电子工业、光学机器、精密机械、精致涂装、新素材及航空等为范围,主要控制尘埃粒子。优点有三:1.提高品质及良率;2.节省产品工时及成本;3.降低维修费用。该类洁净室一般具有正压式洁净环境。
7 _& Y2 J! ~ S- S; D/ I生化及医药用洁净室简称B.C.R,以制药、医学、遗传基因产业、生命科学、医疗设施、食品及生物实验室等范围,主要控制生物粒子及尘埃。优点有三:1.防止细菌感染;2.提高食品、药物品质;3.延长食品及药物之储存期限。有害生物实验室必须采用负压式洁净室。 : J }' x8 _7 M p4 r1 G. f7 ?6 |
洁净室分类 ; c# f9 z. ?- w+ j+ W7 r) V) q
洁净室依空气流动方式和使用环境、场所或目的之不同,而作如下之分类:
8 `0 M! g, ?' [- t7 u7 O1.乱流式,空气有空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而成不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净等级1000~100000级,其优点是构造简单、系统建造成本低,洁净室之扩充比较容易,特殊情况下可提高洁净室等级;其缺点是因乱流而不易排出空间漂浮之粒子,停转后再启动需耗相当长时间才能满足洁净需求。
, ~* e2 j! t( [$ ]2.层流式,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由两侧隔墙板或高架地板回风。气流成一均匀之直线形。此型式适用于洁净等级1~100级,分水平层流式和垂直层流式两种。水平式空气自过滤器单方向吹出,又对面墙壁之回风系统回风,尘埃随风排到室外,一般下流侧污染较重,其优点是构造简单,运转短时间后即可稳定;其缺点是建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。垂直式空气完全以HEPA过滤器覆盖的天花上往下吹,其优点是管理容易,运转短时间后即可稳定,不易为作业人员影响;其缺点是够在费用较高,弹性利用空间较困难,吊架空间大,维修更换过滤器较麻烦。 $ u; i0 Q! S9 Y6 o5 O
3.复合式,将乱流式及层流式予以复合或拼用,可提供局部超洁净之空气,有三种型式:洁净隧道、洁净管道和拼装局部洁净室。 ' ?, `: d Q, X! ]* O/ k& d
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