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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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tts_moon

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1楼
发表于 2013-9-22 13:14 |只看该作者 |正序浏览
4.1温区尺寸：Φ200×H4008 \; W+ y% [  @' Q4 Q2 i% O3 i
4.2沉积室最高使用温度：1500℃3 b& }. p+ X& m! g# @/ j
4.3捕集室最高使用温度：2400℃# [: G/ @1 t, E5 z1 s" _
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
8 ]7 Y, ~# H" x# _4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
3 l* t! w/ u( w' N9 [9 L; ~4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
1 `7 E" x" \) o+ E6 m4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
2 ^2 _) z( `1 P5 ?5 e4.8控温精度：≤±2℃
% K; J4 J7 u5 _7 e! A; q" z$ X4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源' d& `" P. n: q( y) D# k3 T
4.10沉积室电源最大功率：30kVA5 N. q$ f3 E4 N2 _
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
0 \! T$ R* ^( Q( p& @" G/ U8 K7 R4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
$ W3 Y: `) J& j5 S. x8 i  b$ o4.13捕集室中频电源频率：2500Hz( J, B4 T1 ]+ }& c5 S! \
4.14捕集室中频电源功率：50Kw
9 W, g2 ]8 l) ?- t; I4.15捕集室电源输入电压：380V$ F$ d7 m- w- C+ @/ `$ ^
进水温度：5~30℃
6 H1 W* s9 d/ r出水温度：≤55℃
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