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怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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tts_moon

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1楼
发表于 2013-9-22 13:14 |只看该作者 |正序浏览
4.1温区尺寸：Φ200×H400
/ I! r# y5 l; ?. N0 [) b4.2沉积室最高使用温度：1500℃
& m1 D6 e4 S* u- D. ?& o; \4.3捕集室最高使用温度：2400℃" u6 p3 `. S( i  Y' u) `4 r
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa9 q, T/ x3 c7 O9 F3 _4 V
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min1 H, C& x7 I/ ]! `' r% r4 |3 f
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
( i' B# Z. j1 |4 J6 L5 q4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
4 V7 s0 Q" F3 d6 U' O3 \4.8控温精度：≤±2℃
3 u% Y- m( d8 r8 e1 |( u1 t) D$ n8 Y4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
: Y& M( z" k% v9 L& q- T- Q! q4.10沉积室电源最大功率：30kVA
4 T+ ^& l! R& z  G5 K% d' _4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V* D, O' K+ g5 U( m5 e
4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V( x& e( |: s/ u7 @9 c
4.13捕集室中频电源频率：2500Hz3 o; i6 k+ _4 k4 p* @# ~; s
4.14捕集室中频电源功率：50Kw6 T% n0 N  N- H: a! O% S6 `9 D9 \
4.15捕集室电源输入电压：380V
9 _, S8 \# {* _9 k/ n进水温度：5~30℃! V' G1 I3 o- k! A. r
出水温度：≤55℃
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