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4.1温区尺寸：Φ200×H400
+ D8 v4 d. N. D4.2沉积室最高使用温度：1500℃% U1 P( V( I2 d6 ~. F7 Q$ b! U# t. N
4.3捕集室最高使用温度：2400℃9 k9 r( f. Z. Y5 Z1 ^8 }
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa4 C/ \7 U1 W- ?4 b5 L6 X- A
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
0 r5 O2 R3 Z6 J4 c& c6 }1 r4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min" `9 [- \: o w! a h9 q; p) {/ Q
4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃* e$ q0 w% b# m8 c+ Y' y' |1 h6 I
4.8控温精度：≤±2℃
1 a& ?) B+ y9 n% L2 F4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源5 M! L/ @5 f3 b- S! R, @5 t: O
4.10沉积室电源最大功率：30kVA- I# `: h- W6 h/ w& J! D) g4 w
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
( z& e; r2 r8 |, u: U, F) m4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
- L* n! v o$ E( |; }4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
- G2 [$ ]' s% {$ H3 |1 S. z4.14捕集室中频电源功率：50Kw
8 e3 v, c) _; T( W+ s( \3 A, g- \* ^6 Y) }4.15捕集室电源输入电压：380V
$ ` v. ]& m+ s9 b/ C o进水温度：5~30℃. E% K1 A$ J# J1 c$ d6 J* J
出水温度：≤55℃ |
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发表于 2013-9-22 13:14
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