怎么确定真空化学气相沉积炉的发热量，即要求水冷设备有多大的制冷量。具体参数见...

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4.1温区尺寸：Φ200×H400
7 l; }: R, a: u2 f4.2沉积室最高使用温度：1500℃
* i; C  q0 M: d' j. x) T" j4.3捕集室最高使用温度：2400℃
4.4空炉冷态极限真空度：≤5Pa
4.5空炉冷态压升率：≤6.67×10-2Pa/min
4.6空炉冷态抽气达到极限真空时间：≤30min
- ?0 y/ F* y* v$ s4.7工作空间温度不均匀度：≤±15℃
4.8控温精度：≤±2℃
/ p7 V" A7 L+ j# W8 G8 F+ `, J4.9沉积室电源形式：可控硅三相整流调压电源
6 t4 m' f. J0 h; m7 m" _" ~& l% _4.10沉积室电源最大功率：30kVA
4.11 沉积室电源输入电压：AC . 380V
4.12 沉积室电源输出电压：AC . 21V
4.13捕集室中频电源频率：2500Hz
0 Z* t; ]  f. E3 w) K4.14捕集室中频电源功率：50Kw
8 Z- I6 |* }) B* U  I: B  M) M4.15捕集室电源输入电压：380V
8 ^3 }1 W/ u" B7 H进水温度：5~30℃
4 o1 x& D# Q6 p8 O* y/ m8 @出水温度：≤55℃