涡轮分子真空泵是适应了现代真空技术对于无油真空环境的要求而产生的一种佛山真空泵设备。像油扩散泵一样,涡轮分子真空泵也是靠对分子施加作用力,并使气体分子向特定的方向运动的原理来工作的。涡轮分子真空泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000-3000r/min的高速旋转时。叶片将动量传给气体分子。同时,涡轮分子真空泵中装有很多级叶片,上一级叶片输送过来的气体分子又会受到下一级叶片的作用而被进一步压缩至更下一级。因此,涡轮分子真空泵的一个特点是其对一般气体分子的抽除极为有效。例如对于氮气,其压缩比(即真空泵出口的压力与入口的压力之比)可以达到10的9次方。但是,涡轮分子真空泵抽取低原子序数气体的能力较差。例如对于氢气,其压缩比仅有10的3次方左右。* u2 `( o( R' b$ E